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* 灵敏度取决于r2/r1，r2与r1越接近，灵敏度越高。虽然内外极筒原始覆盖长度与灵敏度无关，但不可太小，否则边缘效应将影响到传感器的线性。 另外，变极距型和变面积型电容式传感器可采用差动结构形式来提高静态灵敏度，一般提高一倍。例如，对变面积型差动式线位移电容式传感器，其静态灵敏度为 对于圆柱形变面积型电容式传感器，其静态灵敏度为 可见，与单组式相比灵敏度提高了一倍。 变面积型和变介电常数型电容式传感器在忽略边缘效应时，其输入被测量与输出电容量呈线性关系，因而其静态灵敏度为常数 * 显然，输出电容?C与被测量之间是非线性关系。 只有当(?δ/δ1时，略去各非线性项后才能得到近似线性关系为C＝C0(?δ/δ)。由于δ取值不能大，否则将降低灵敏度，因此变极距型电容式传感器常工作在一个较小的范围内（1cm至零点几mm），而且?δ最大应小于极板间距δ的1/5～1/10。 2、非线性 对变极距型电容式传感器，当极板间距变化时，其电容量的变化： * 可见，差动式的非线性得到很大改善，灵敏度也提高了一倍。 如果电容式传感器输出量采用容抗XC=1/(ωC) ，那么被测量?δ就与?XC成线性关系，不需要满足?δ δ这一要求了。 在忽略边缘效应时，变面积型和变介电常数型（测厚除外）电容式传感器具有很好的线性，但实际上由于边缘效应引起极板或极筒间电场分布不均匀，导致非线性问题仍然存在，且灵敏度下降，但比变极距型好得多。 采用差动形式，并取两电容之差为输出量?C * （二）?? 特点 1．受温度影响极小 电容式传感器的电容值仅取决于电极的几何尺寸，一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 2．结构简单，适应多种场合，具有平均效应 这种传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度；可做得体积很小，易于实现某些特殊要求的测量；电容式传感器一般用金属作电极、以无机材料作绝缘支承，因此能工作在高温、低温、强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可承受很大的温度变化，承受高压力、高冲击、过载等；能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。当被测试件不允许采用接触测量时，电容传感器可完成测量任务。电容式传感器在采用非接触测量时，具有平均效应，可减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 * 3．动态响应好 电容式传感器由于极板间的静电引力很小，（约几个10-5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几MHz的频率下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。 电容式传感器还因带电极板间的静电引力极小，因此所需输入能量极小，所以特别适宜用来测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常高，能感受0.001m甚至更小的位移；由于其空气等介质损耗小，采用差动形式并接入电桥时产生的漂移极小，因此允许电路进行高增益放大，使仪器具有很高的灵敏度。 * 不足： 1．负载能力差 电容式传感器的容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百pF，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106～108Ω。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取屏蔽措施，从而给设计和使用带来不便。容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高（几十MΩ以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响传感器的性能（如灵敏度降低），为此还要特别注意周围环境如温湿度、清洁度等对绝缘性能的影响。高频供电虽然可降低传感器输出阻抗，但放大、传输远比低频时复杂，且寄生电容影响加大，难以保证工作稳定。 * 2．寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而其引线电缆电容(l～2m导线可达800pF)、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，①降低了传感器的灵敏度；②这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精度，其变化量甚至超过被测量引起的电容变化量，致使传感器无法工作。因此对电缆选择、安装、接法有要求 3、输出特性非线性 变极距型电容传感器的输出特性是非线性的，虽可采用差动结构来改善，但不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有忽略了电场的边缘效应时，输出特性才呈线性。否则边缘效应所产生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加，使输出特性非线性。 随着材料、工艺、电子技术，特别是集成电路的高速发展，使电容式传感器的优点得到发扬而缺点不断得到克服。电容传感器正逐渐成为一种高灵敏度、