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气体监控系统介绍 2012年3月 1、特气供应系统 引言-特气供应系统概述 1.1-气体的分类 1.2-特气供应系统 1.3-BSGS简介 1.4-GC/GR简介 1.5-VDB/VDP简介 1.6-VMB/VMP简介 引言、特气供应系统概述 在目前生产工艺较为先进的半导体晶圆代工厂的制造过程中，大概需要使用50种不同种类的气体。一般把气体分为大宗气体（Bulk Gas）和特种气体（Special Gas）两种。 大宗气体一般指集中供应及用量较大的气体，涵盖制程用气如PO2、PH2、Ar、PHe 及非制程用气CDA、GN2等；特种气体指用量较少且有一定危害性的气体，如易燃易爆气体SiH4、PH3等 所以针对工业用气中气体特性及用处的不同，需要设计出不同的气体输送系统来满足不同设备的需求，本章我们就集中介绍特殊气体供应系统。 1.1、气体的分类 半导体制造业等相近行业所使用的气体一般按其使用时的特性（图1-1）可分为五大类 1.1、气体的分类 1.1、气体的分类 1.2、特气供应系统 高 纯工业气体供应方式一般有多种，如现场制气，用管道输送供气，槽车输送供气，外购钢瓶或者钢瓶组输送供气等。具体采用哪种方式公司，设计人员主要考虑的因素是工厂的生产规模和用气需求及周边地区的气体供应情况等。综合所有条件经过认真的技术及经济比较后方可确定。我们的设计原则是既要做到确保供气的质量、运行管理方便，还要降低产品的生产成本，以便安全、可靠、高 效地供应气体。 对于特种气体的供应方式，目前应用最为广泛的是采用外购气体钢瓶或钢瓶组来输送供气。因为它具有投资较少，使用方式灵活的优点，电耗及制气成本也相对比较低廉。但在气体输送的过程中气体比较容易烧到污染，这就要求整个供应系统得到严格的管理及维护。 1.2、特气供应系统 1.2、特气供应系统 气瓶柜一般分区域的设置在主厂房的一楼的气体房内，在气体房中技术人员要进行钢瓶更换及日常维护保养工作。对于毒性气体还要求有各种废气处理装置（Scrubber），以便及时处理各种作业过程中产生的有毒气体，处理后的尾气在进入中央处理装置（Central Scrubber），已确保工作环境的安全。 特殊气体从气瓶出发，先经过各种阀、配件以及压力调节器等，由特殊气体输送管道供应到位于厂房二楼SubFab或者洁净室的多个阀分配箱（VMB：Valve Manifold Box)中。然后再由VMB的各个Stick点供应到生产区域的设备使用。而用气设备的尾气也还要进入现场尾气处理装置（Local Scrubber）进行处理。 1.3、BSGS简介 BSGS即Bulk Special Gas System，针对有些气体的用量很大，为了减少更换钢瓶的频率，减少运营成本。设计者会考虑使用BSGS。其系统构成请见图1-3 1.4、GC、GR简介 1.4、GC、GR简介 1.5、VDB、VDP/VMB/VMP 简介 1.5、VDB、VDP/VMB/VMP 简介 2、气体侦测系统 引言-气体侦测系统简介 2.1-侦测器的作用与简介 2.2-报警灯的作用与简介 2.3-紧急停止按钮的作用与简介 2.4-PLC的作用与简介 2.5-SCADA的作用与简介 引言、气体侦测系统概述 引言、气体侦测系统概述 气体监控系统(GMS)主要包含特制品气体设备监控(GIS)和气体侦测系统(GDS)。 对于气体供应系统(SGS)而言，气体监控系统为其正常运作提供了一整套安全监控功能。所有涉及到气体供应系统的监控信息都将被整合到独立管理控制和数据分析系统(SCADA)中。 优化后的软件提供了一套及其简易的模式进行人机界面操作(HMI)。 而且，气体监控系统有能力完成多项远程控制功能，例如远程启动报警单元(LAU)，远程关闭供气设备(RSD)等。 根据系统的功能划分，气体监控系统还可分为自动型和非自动型。 创建一套PLC控制单元将实现整个系统的监视和控制功能，另外工程