超精密加工方法与装备要素.ppt

超精密加工方法和设备技术 魏 昕 主要内容 精密和超精密加工概述 典型精密加工技术与装备 微机械的精密加工 超精密加工技术的发展趋势 精密和超精密加工概述 精密和超精密加工概述 精密和超精密加工概述 精密和超精密加工概述 典型精密加工技术与装备 典型精密加工技术与装备 微机械的精密加工 * 广东工业大学机电工程学院 从先进制造技术的技术实质性而论，主要有精密和超精密加工技术和制造自动化两大领域，前者追求加工上的精度和表面质量极限，后者包括了产品设计、制造和管理的自动化，它不仅是快速响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是保证产品质量的有效举措，两者有密切关系，许多精密和超精密加工要依靠自动化技术得以达到预期指标，而不少制造自动化有赖于精密加工才能准确可靠地实现。两者具有全局的、决定性的作用，是先进制造技术的支柱。 超精密加工所能达到的精度、表面粗糙度、加工尺寸范围和几何形状是一个国家制造技术水平的重要标志之一。 精密和超精密加工定义 精密加工技术： 加工精度： 1 — 0.1?m 表面粗糙度： Ra 0.1 ?m 超精密加工技术： 加工精度： 0.1?m 表面粗糙度： Ra 0.02?m 纳米加工技术： 加工精度： 达0.001?m(1nm) 表面粗糙度：