无尘室概念及管制说明_S03H0探讨.ppt

1.进风淋室时,双脚必须在粘尘垫上踩过. 2.在风淋室内不可靠墙. 3.所有进入无尘室的原材料或治具、工具、零配件等 均需擦拭干净后经风淋室洗尘，方可进入无尘室. 4.出双向对开门时,两边门不可同时打开. 5.在双向对开门内不可脱手套、口罩等. 将头发扎好不可披发(男生不可留长发).戴上网帽将所有头发包住,头发不可外漏.戴上口罩需遮住口鼻,口罩上的铁丝要捏一下卡住鼻子, 防止口罩掉下来.戴上无尘帽,网帽不可外漏.穿上无尘服,无尘帽领需没于无尘衣内(不可坐在地上穿). 穿上无尘鞋(不可以踩踏鞋柜、隔板 ),裤管需扎入鞋套里. 在戴上静电环和静电手套. * AUO Proprietary Confidential AUO Proprietary Confidential 无尘室概念及管制说明 课 程 大 纲 一、洁净室的定义 二、洁净室的功能 三、洁净度的定义 四、洁净室环境要求 五、洁净室的管理 ?控制产品所接触大气的洁净度及温湿度： 不论室外空气条件如何变化，室内都还能维持原先设 定的空气条件. 使产品能在一个良好的环境中生产制造. 如：TFT-LCD能在一个洁净度良好、温 湿度、压力稳定的环境中被生产制造. 洁净室的定义 洁净室就是所谓的无尘室: ?将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度与照度、 噪音、振动、静电等条件控制在某一需求范围内. 洁净室的功能 65 dB 250~700 LUX 0.5 m/s 62％±7％ 24±2℃ 噪音 照度 风速 湿度 温度 洁净室最主要功能: ?将一定范围内空气中的微尘粒子( particle ) 、 有害空气、细菌等污染物排除. 洁净室环境要求: 洁净度的定义 FED-209　洁净度等級 S03厂无尘室等级为1000级 洁净度的定义 Particle来源: Particle 防制原则 洁净室环境要求 Particle测量仪 不带入 排 除 不堆积 不产生 二、不可产生 particle ?. 无尘服穿着确实 ?. 规划作业 ?. 避免内装会产生particle 四、排除 particle ?. 维持排气畅通 ?. 维持气流稳定 洁净室环境要求 一、不可带入 particle ?. 穿着无尘服 ?. 物品携入前，先清洁 ?. 环境压差确认 三、不可积累 particle ?. 选择易清洁之材质 ?. 定期清洁 ?. 防静电产生,避免浮游 粒子吸附 Particle 防制原则: 洁净室的管理 五、Gowning room 管理 四、人员秩序相关规定 三、物品设备相关规定 二、无尘服穿着顺序 一、人员进出规定 范　 围 三、避免产品受到污染 二、符合生产环境要求 一、维持洁净室之等级 目　 的 人员进出规定： 一、进入洁净室须穿戴无尘服、网帽、口罩、静电手套. 二、进入洁净室时必须依规定通行“风淋室”. 三、进入洁净室后,必须量测静电手环是否OK. 四、离开无尘室时,必须依规定关闭“双向对开门”. 五、非紧急状况,不得使用安全门. 六、设备商进厂及来宾参访,须提出申请, 并了解洁净室规 洁净室的管理（一） 风淋室双向对开门注意事项: 洁净室的管理（一） 1.进入3F-FI产线的人员统一从 通道进入后按指定的路标走. 三人以上必须排队,且排整齐 不可打闹,严禁嘻戏. 2.进入2F-FI产线的人员由2F Carton check 1线进入. 洁净室的管理（一） 1.将所有头发整理塞进工帽. 2.耳朵可外露,头发不可外露. 3.工帽戴正不可歪斜,有带子 的戴到后方. 4.后段为非无尘环境,清洗由 同仁自行负责. 洁净室的管理（一） FI段戴工帽注意事项: 洁净室的管理（二） 穿无尘服规范 1.扎好头发,带好网帽,(如图一). 穿无尘服.MPG 注:在戴网帽时要把头发全部放到网帽里去,不可漏出来. 2.带上无尘帽,检查头发是否露出(如图二). 3.带上口罩.(如图三). 图一 图二 图三 4.穿无尘服拉上拉链.(如图四) 5.穿上无尘鞋套,贴好魔鬼贴. 6.穿上无尘鞋, 穿无尘鞋时脚禁止搭在鞋柜上.(如图五). 7.带上静电环及静电手套,在整装镜前整理OK后进入无尘室. 注:手套和无尘衣接口处皮肤不可以露出(如图六) 洁净室的管理（二） 脱无尘服规范: 脱去无尘鞋套. 洁净室的管理（二） 脱无尘服 脱无尘帽 挂无尘服 脱无尘服.M