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刻蚀洗磷基本知识讲解 10.12.18 C1A-B 冯姝妹 刻蚀 刻蚀的目的及其原理 刻蚀机 等离子刻蚀机由反应室、真空系统、送气系统、高频源、匹配器等部分组成。 刻蚀的工艺流程 注意：辉光压力，氧气、四氟化碳流量，辉光功率，板压、板流 刻蚀操作流程 取片 来料检查 装片 装片 填写流程单 进机器 运行 卸片 测边阻 SPC 刻蚀操作注意事项 在传递窗拿取硅片时，要双手抱住承载盒的底部，最多只能拿两批。严禁单手拿取，严禁拿两批以上。 刻蚀操作注意事项 装片时，必须把硅片码齐，不允许硅片参差不齐。 刻蚀操作注意事项 放聚四氟乙烯假片和聚四氟乙烯挡板时，要确认上面没有硅片碎渣和其他碎屑物。 碎屑物要清除 刻蚀操作注意事项 双手一定要同时旋拧铝制夹具的两个螺母 刻蚀操作注意事项 将装好的硅片放入刻蚀机中时，一定要竖直将其放入，铝制夹具的底部方形凹槽一定要与机器的方形内突起卡好。 夹具凹槽与方形突起 刻蚀操作注意事项 机器盖一定要与腔体对齐，严禁留缝隙。 常见故障及其处理方法 故障 处理方法 不辉光 未达到辉光压力；高频电源坏；预热档未打开 辉光颜色异常 漏气、密封圈、石英管 断电 保险丝坏 “预热”开而不上电 保险管断；“预热”开关坏 刻蚀不良及其处理方法 洗磷 洗磷目的及其原理 形成 原理 SC-200D,甩干机 SC-200D 甩干机 上料台，五个槽，显示器，机械臂，下料台，自动启动，暂停，复位，急停，上料确认 开门，关门，运行，工艺选择，工艺修改 工艺流程 清洗机 一槽，二槽，三槽，四槽，五槽 甩干机 冲洗，甩干，烘干 操作流程及其注意事项 取片 插片 摆放 上料 上料 下料 进甩干机 擦拭甩干机 关门 运行 洗磷操作注意事项 上料时双手同时端起两个小花篮放到大花篮上，严禁单手端两个小花篮或双手端两个以上的小花篮。 洗磷操作注意事项 推车时要慢、稳、轻，严禁将双手脱离小推车。 洗磷操作注意事项 清洗机上、下料搬运大花篮时，严禁拖拉大花篮。 洗磷操作注意事项 甩干机一定要对称放置 两篮对称 三篮对称 四篮对称 洗磷操作注意事项 甩干机取料时，每次只能取两盒，严禁取两盒以上。 洗磷操作注意事项 换液时，防护用具穿戴齐全，缺一不可。 危险化学品 四氟化碳 特性: 无色无味气体，不燃，遇高热，容器内压增大，有开裂爆炸的危险 危害: 能引起快速窒息，接触后可引起头痛、恶心和呕吐。 泄漏应急措施: 迅速撤离泄露污染区人员至通风处，并及时隔离，并限制进入，应急人员穿戴好防护面具及防护服，尽可能切断泄漏源，合理通风，加快扩散，泄露器妥善处理 氢氟酸 六氟灵洗眼器 特性: 无色透明至淡黄色冒烟液 体、有刺激性、挥发性气味，弱酸。 急救措施： 乙醇 特性：易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触发生化学反应或引起燃烧。 急救措施： 谢谢！