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气相色谱的气体分析气相色谱的气体分析
高纯气体中微量杂质的测定
1主题内容与适用范围
本标准规定了高纯氮、高纯氢、高纯氦的技术要求、微量气体含量试验方法。
2引用标准
GB/T7445-1995
GB-T8979-2008
GB?5832.1
3技术要求
高纯氮、高纯氢、高纯氦的技术指标
表1
项 目 指 标 高纯氮 高纯氢 CO 氮,氢,一氧化碳纯度, 10-2 ≤ 99.999 99.999 ?99.999 氧含量,10-6 ≤ 3 1 1 氩含量,10-6 ≤ —— 3 1 氮含量, 10-6 ≤ —— 5 2 一氧化碳含量,10-6 ≤ 1 1 0.5 二氧化碳含量,10-6 ≤ 1 1 0.5 甲烷含量, 10-6 ≤ 1 1 0.5 水分, 10-6 ≤ 3 3 3 氢(H2)含量10-6 ≤ 1 —— 1 硫(S)含量10-6 ≤ 2 2 2
4试验方法
4.1 高纯气体含量的测定
4.2纯度
氮气纯度按式(1)计算:
φ=100-(φ1+φ2+φ3+φ4+φ5+φ6)×10-4 ……(1)
式中:
φ——高纯气纯度(体积分数),10-2;
φ1——氧含量(体积分数),10-6;
φ2——氢含量(体积分数),10-6;
φ3——一氧化碳含量(体积分数),10-6;
φ4——二氧化碳含量(体积分数),10-6;
φ5——甲烷含量(体积分数),10-6;
φ6——水含量(体积分数),10-6。
4.3 高纯氮中氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定
采用带有氧化锆检测器和氢火焰离子化检测器的气相色谱仪测定氮中的氢、氧、一
氧化碳、甲烷和二氧化碳。
纯氮和高纯氮中的氢、氧、一氧化碳、甲烷的测定按HG/T 2686 执行。检测限0.1×10-6。
氧含量允许采用 GB/T 6285 规定进行测定。氢含量允许采用GB/T 8981 规定进行测
定。
4 . 4??高纯氢,高纯氦中氢、氧氮含量的测定?4 . 4. 1?方法提要????采用变温浓缩技术,热导色谱法测定。该法将被测组分在液氮温度下的吸附柱上定量吸附,然后于室温(水浴)下定量脱附,使样品中微量被测组分预先提浓,经色谱柱分离后,用热导池检测器进行检测。4..2??仪器本标准采用带有预浓缩系统的实验室色谱仪,色谱流程图1。仪器的其他条件如稳压电源、测量桥路等与一般色谱仪相同,记录仪量程为O~1mV,检测器为四臂钨丝热导池,S值大于1000。4..3??测定条件????????a.载气:高纯氦,符合本标准要求,流量40~60mL/min。?????b.?浓缩柱:长约40~50cm,内径约4mm,内装粒度为0.25~0.40mm的601或TDX-01型碳分子筛3~4g。???????c.色谱柱:长约3m,内径约4mm,内装约1m长的5A分子筛(粒度:0.25~0.40mm)和约2m长的椰壳活性碳(粒度:0.25~0.40mm)。该柱经活化处理后,对各待测组分间的分离度(R)应大于1。????????d.?吸附温度:-196oC(液氮温度)。脱附温度:室温(水浴)。4..4??准备工作4..4.1??将浓缩柱、色谱柱通干燥气体(浓缩柱禁止用氧气)加温活化处理。4..4.2??将所有活塞仔细涂好活塞油,检查色谱系统无泄漏。4..4.3??开启载气,调节流量至40~60mL,吹洗色谱系统约2h,接通仪器电源,待仪器工作稳定。4..4.4??转动活塞,关闭浓缩柱,套上液氮浴,5min后,取下液氮浴,套上室温水浴,记录仪上无色谱峰出现为正常。4..4.5??转动活塞,令载气通过浓缩柱,在小心防止空气倒吸的情况下,浓缩载气5min,测定色谱系统空白值,应附合4.2.3条a的要求。4..5??操作步骤4..5.1??取样????将待测样气瓶经针型减压阀及金属管道与仪器紧密连接,开启螺旋夹、瓶阀、针型阀,以至少3次升降压的方法用样气充分置换阀体及管道,使所取样品具有代表性。4..5.2??浓缩????转动活塞6、ll、12,切断通往浓缩柱的载气,同时将样气以不高于1000mL/min的流量通过浓缩柱,吹洗3~5min后,关闭活塞12,将浓缩柱套上液氮浴,开通活塞12,样气流经鼓泡器15,由湿式流量计计量后放空。????浓缩操作应始终保持在鼓泡器10鼓泡的情况下进行。样气的浓缩体积由仪器的检测限和待洲组分的含量选定。4..5.3??解吸????浓缩完毕后,关闭活塞ll,取下液氮浴,待20~50S后,放去吸附的氦,关闭活塞12,再将浓缩柱套上水浴,旋转活塞11、12、6,令载气通过浓缩柱,而后进入色谱柱。????读取浓缩体积(V1)。记录备待测组分的色谱流出曲线。测量色谱峰面积(
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