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第三章 CCD器件新技术 CCD(Charge Coupled Device)电荷耦合器件自美国贝尔实验室研制成功以来，随着半导体技术、微电子技术的发展，其自身技术日臻成熟，应用领域不断拓展。CCD目前已广泛应用于摄像、摄影、信息处理和存储等方面，而主要用途是用来做图像传感器(见图3—1)，在CCD摄像机、数字相机和扫描仪等现代影像产品中大显身手。其中在摄像机中的成功应用，是CCD技术打响的第一炮，CCD从此一鸣惊人，声誉远播。 CCD摄像机具有以往摄像管摄像机所不具备的诸多优点：体积小、重量轻、坚固耐用、功耗低、无磁场干扰、无重合误差。此外，CCD摄像机图像重现好，全区域无几何失真，并且不会发生灼伤、彗尾和图像残留现象。 图3-1 CCD图像传感器 3-1 CCD器件的工作原理 CCD摄像元件和摄像管的工作原理一样，是利用某种水电效应，首先将入射光转变成对应的光电荷，并把光电荷暂时存储在像素的微小静电容上，然后通过固体扫描方式将信号读出。CCD摄像元件具备光电变换、光电荷存储和固体扫描三个基本功能。其中比较特殊的是固体扫描方式。它和摄像管的扫描方式不同，是利用电子的转换、移位来完成扫描过程的。在CCD摄像元件的硅基片上镶嵌排列着许多各自独立的像素，通过在电路上施加扫描脉冲将存储在像素上的光电荷按顺序读出。 CCD的结构就像一排排输送带上并列放置的小桶，光线就像雨滴撤入各个小桶中，每个小桶代表一个像素。快门开启到关闭的拍摄过程，其实就是按一定的顺序测量某一短暂的时间内，小桶中落进了多少“光滴”，并形成相应的数据文件(参见图3-2)。一般的CCD每原色的亮度用8位数据来记录，即其小桶上的刻度有28格，也有的是10位甚至12位，更高的色彩位数在记录色彩时可以更精确，尤其是在光线条件比较差时，能够记录下丰富的暗部细节层次。 图3-2 CCD的结构原理示意图 早期的CCD是隔行扫描的。同一时刻，每两行小桶只有一行被测量，这样可以提高快门速度，但图像精度大为降低。随着技术的进步，新的CCD一般都是逐行扫描的，人们已能让CCD统计出，在几十分之一秒甚至几千分之一秒的时间里落进各个“小桶”的“光滴” 量。以数字摄像机为例，在CCD接收板上纵横排列集成有几十万个、几百万个甚至上千万个光电二极管及译码寻址电路。通过CCD器件，数字摄像机将镜头传来的光线转换成电信 号，再经过A／D转换成数字量送到存储单元保存起来。当光线经镜头汇聚成像照在CCD上时，每个光电二极管会因受到的光强的不同而耦合出不同数量的电荷。通过译码电路可 取到每一个光电二极管上耦合出的电荷而形成电流，该电流经A／D变换即形成一个二进制 数字量，该数字即对应一个像素，实际中二极管数量通常大于图像像素数量，兆数字量像素的集合，即构成了数字图像。接下来就是如何进一步处理、保存这些数字。CCD的像素数和面积是决定画质的重要因素。像素数越多、面积越大，图像质量越高。此外，CCD的像素形状对画质也有影响。早期的电视摄像机所用的是竖长型画面CCD，由于电脑的画面是由正方型的像素构成的，从CCD直接输入到电脑的图像会变成宽型。为了正确表现图像，需要经过软件进行一定比例的修正，这样一来图像会有一定程度的失真。因此，目前数字摄像机所用的是专门设计的正方像素CCD。 为了更准确地了解CCD的工作原理，下面以三相CCD和二相CCD为例进一步加以说明。 电荷耦合器件CCD(Charge-Coupled Device)是在MOS器件的基础上发展起来的一种新型器件，最突出的特点在于它是以电荷作为信号，而其它大多数器件则是以电流或者电压作为信号。它的基本功能是电荷存储和电荷转移，因此CCD工作过程中的中心问题是信号电荷的产生、存储、转移和输出。 3-1-1 CCD的基本结构 CCD电荷耦合器件是由一行紧密排列在硅衬底上的许多个MOS电容器构成的。截面图如图3—3所示。其中Φ1Φ2Φ3为转移电极，当Φ1Φ2Φ3加正偏压时，P型硅衬底中的多数载流子(空穴)受到排斥而离开Si一Si02界面， 形成耗尽层(也称势阱)，图中的阴影区所示。当出现耗尽层时，表面电位比热平衡时高，对电子来讲势能较低，偏压越高，会使耗尽层向P型硅衬底扩展越深。图3一3中，Φ3 Φ2Φ1，所以势阱为阶梯状，Φ3下的势阱最深。若这时由于热激发而产生电子一空穴对，则空穴将流入衬底，电子则聚集到势能最低的势阱里。因此，当用这些势阱来存储信号电荷时，应在热激发产生的电子来不及聚集的时候将其进行转移。 3-1-2 CCD的基本工作原理 一、信号电荷的注入 CCD中的信号电荷可以通过光注入和电注入两种方式得到。 1．电注入 CCD是以电荷为信号的器件，所谓电注入就是CCD通过输入结构对信号电压或电流进