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太原科技大学 课 程 设 计 设计题目：光力学效应应用——非制冷红外成像系统 姓 名___ _ 学院（系）应用科学学院 专 业_光信息科学与技术 学 号 指导教师___ ___ 2010年12月15日 目录 摘要………………………………………………………..…..3 Abstract……………………………………………………….4 第1章 引言…………………………………………………..5 第2章 工作原理……………………………………………..6 第3章 FPA 的制作………………………………………….8 第4章 结果分析与讨论…………………………………….10 结论…………………………………………………………...13 参考文献……………………………………………………...14 摘　要 应用光力学效应的非制冷红外焦平面阵列( Focal Plane Array - FPA) ,配有可见光读出部分的红外成像系统,可以在8 至14μm 光谱区得到热物体成像。其核心部件是双材料悬臂梁结构的焦平面阵列。不同于利用其他效应的非制冷红外成像系统,此种成像系统可以方便的在室温下正常工作,而且省去了相当复杂的信号转换电路,降低了制备复杂程度和成本。采用MEMS 表面硅工艺制备FPA ,深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理、光学读出系统、工艺制备难点,并得到了高温物体红外源的成像响应结果。 关键词:光力学;MEMS ;焦平面阵列;双材料悬臂梁 Abstract An optomechanical uncooled infrared( IR) imaging system consisting of a focal-plane array(FPA) based onbi-material cantilevers ,with a visible optical readout system ,may receive an IR imaging in the spectral range from 8to 14μm. The uncooled micro-optomechanical IR imaging system can be availably operated at room temperature , without complicated signal readout circuits and fabrication costs. In the paper the principle of the uncooled infraredimaging system based on bi-material cantilever pixels ,the optical readout system are illuminated ,then the fabricationprocess of FPA and some experiment results are introduced. Key words :optomechanical ;mems ;focal plane array(FPA) ;bi-material cantilever 第一章 引　言 任何高于绝对零度的物体都会辐射红外,通过对在8～14μm 波谱区段的红外辐射谱的探测,并通过电学和光学等方法处理这些信号,就可形成与景物辐射分布对应的热图像。红外成像系统按照探测原理的不同,可以把传统的红外辐射探测器大致分为两类:量子型和非制冷热型[1 - 2 ] 。目前所有量子型的红外辐射探测装置都配有制冷装置,使得其笨重,且价格昂贵。而非制冷热型红外成像仪检测探测器受热后电阻的变化、电容的变化等,像元下面都有读出电路相对应,但制作难度较大。 鉴于以上原因,我们提出了应用光力学原理的、基于MEMS 微悬臂梁结构的非制冷型红外焦平面成像系统[3 ] 。从原理上讲,与以往光量子型和其它热型的成像原理有根本的区别。它测量出一定程度的微小形变,并将这一系列的微小形变直接转换成光图像输出。工艺较简单,成本较低,系统调试易于实现。 第二章 工作原理 我们设计的应用光力学原理的、基于MEMS 微悬臂梁结构的非制冷型红外焦平面成像系统主要由三部分组成:1) 红外线集像部分;2) 由微悬臂梁结构组成的焦平面阵列(focal plane array2FPA) ,它通常置于一个真空腔内,两侧分别为透红外线窗口和透检测光窗口;3) 光学检测部分。 由微悬臂梁结构组成的红外焦平面成像阵列是该系统的核