11_3光栅解析.ppt

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11_3光栅解析

第三节 光栅传感器 一、光栅的类型和结构 光栅的外形及结构 光栅的外形及结构(续) 反射式光栅 透射式光栅 透射式圆光栅 莫尔条纹的光学放大作用 莫尔条纹演示 莫尔条纹光学放大作用举例 光栅的输出信号(TTL) 光栅输出信号(电压正弦波) 脉冲细分 光栅细分举例 辨向电路及波形 如果传感器只安装一套光电元件,则在实际应用中,无论光栅作正向移动还是反向移动,光敏元件都产生相同的正弦信号,无法分辨位移的方向。 正向运动产生 加法脉冲 正向运动时,与门IC2无“减”计数脉冲输出。 为光栅设计的专用数据转接器(光栅计数卡) 为光栅设计 的专用信号 处理单元 (光栅插补器) 光栅在机床上的安装位置(2个自由度) 光栅在机床上的安装位置(3个自由度) 光栅在机床上 的安装位置 (3个自由度)(续) 2自由度光栅数显表 3自由度光栅数显表 光栅数显表(续) 三座标数显表 SDS8-3E 光栅数显箱功能: 公制/英制转换 绝对/相对转换 线性误差补偿 正反方向计算 归零 插值补偿 到达目标值停机 PCD圆周分孔 200组零位记忆 电蚀深度目标值显示 实时工作位置显示 掉电记忆 光栅数显表(续) 设定按键 安装有直线光栅的数控机床加工实况 作业 p201:3、5 休 息 一 下 * * 计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类,均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅。 尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 (与移动部件固定) 扫描头安装孔 可移动电缆 防尘保护罩的内部为长磁栅 扫描头(与移动部件固定) 光栅尺 可移动电缆 固定 在透射式直线光栅中,把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起,中间留有很小的间隙,并使两者的栅线保持很小的夹角θ。在两光栅的刻线重合处,光从缝隙透过,形成亮带;在两光栅刻线的错开处,由于相互挡光作用而形成暗带。 光栅的刻线宽度W 莫尔条纹的宽度L L≈W/θ ,(θ为主光栅和指示光栅刻线的夹角,弧度) 有一直线光栅,每毫米刻线数为50,主光栅与指示光栅的夹角? =1.8?,则: 分辨力? =栅距W =1mm/50=0.02mm=20?m (由于栅距很小,因此无法观察光强的变化) 莫尔条纹的宽度是栅距的32倍: L ≈W/θ = 0.02mm/(1.8? *3.14/180? ) = 0.02mm/0.0314 = 0.637mm 由于较大,因此可以用小面积的光电池“观察”莫尔条纹光强的变化。 余弦信号 (超前) 正弦信号 零位信号 细分点 余弦信号 正弦信号 零位信号 细分技术能在不增加光栅刻线数及价格的情况下提高光栅的分辨力。细分前,光栅的分辨力只有一个栅距的大小。采用4细分技术后,计数脉冲的频率提高了4倍,相当于原光栅的分辨力提高了3倍,测量步距是原来的1/4,较大地提高了测量精度。 细分前 细分后 有一直线光栅,每毫米刻线数为50,细分数为4细分,则: 分辨力? =W /4 =(1mm/50)/4 =0.005mm=5?m 采用细分技术,在不增加光栅刻线数(成本)的情况下,将分辨力提高了3倍。 例:某1024p/r 圆光栅,正转10圈,反转 4 圈,若不采取辨向措施,则计数器将错误地得到14336个脉冲,而正确值为:(10-4)×1024=6144个脉冲。 内部包含以下电路:放大、整形、细分、辨向、报警、阻抗变换等。 功能同上页 数显表 X位移显示 Z(Y)位移显示 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部

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