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mpcvd应用调研报告调研报告 　微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理吕庆敖　邬钦崇(中国科学院等离子体物理研究所,合肥　230031)(收稿日期1997-01-19)WORKINGPRINCIPLEOFMICROWAVEPLASMACVDSETUPLüQingao　WuQinchong(InstituteofPlasmaPhysics,AcademiaSinica,230031)HefeiAbstract: M icrow ave Plasm a Chem ical V apor Deposition (M PCVD) is an important m ethod for diamond film p reparation. Them icrow avemodes such as TE10, TEM and TM 01 in them icrow avemode converter of the M PCVD set up s w ere m easured in experim ents. The initial phases of TEM1　实验装置01 0101 2 and TM modes w ere given respectively. The coup ling betw een m icrow ave and p lasm a w as de scribed. 5 kW antenna coup ledM PCVD set up w as developed in China for the first tim e.Keywords: M icrow ave mode, Plasm a, CVD set up.摘　要: 微波等离子体化学气相沉积(M PCVD) 是制备金刚石膜的一种重要方法。用简单实验方法给出了M PCVD 装置中微波模式转换、微波与等离子体耦合等工作原理。矩形波导中的 TE10 模式经微波模式转换器转变为同轴线中的 TEM 模式, 再由 TEM 模式转变为圆波导的 TM 模式。 TM 模式激发低压气体形成等离子体, 等离子体严重影响微波模式分布。在国内首次成功运行了 5 kW 天线耦合石英窗式M PCVD 装置。关键词: 微波模式、等离子体、化学气相沉积装置。分类号: TB79、TB43、TM 924. 75、O 643. 131。　金刚石具有很多优异性能(如高硬度、低摩擦系数、高弹性模量、高透导光率、高热导率、高绝缘、宽能隙载流子的高迁移率以及良好的化学稳定性等)。因此, 金刚石膜在电子、光学、机械等工业领域有广泛的应用前景。常用的低气压和低温度下沉金刚石膜方法有: 热丝法、等离子体炬法、微波等离子体法等。其中微波等离子体化学气相沉积法具有综合优势。美国A STeX 公司在 1992 年已经推出M PCVD 制备金刚石膜的商品装置(微波功率 1. 5 kW 和 5 kW ) 和全透明金刚石膜商品。W estinghouse 电气公司于 1991 年用M PCVD 法在直径为 40 mm 的航天器窗口上沉积金刚石膜。我所于 1994 年研制成功 800W M PCVD 装置并制备了金刚石膜。就作者所知, 关于M PVCD 装置的结构和工作原理却未曾详细报道。M PCVD 装置包括 2. 45 GHz 或 915M Hz 的微波源、环形器与水负载、定向耦合器与微波功率计、阻抗调配器、微波模式转换器、反应室、供气、抽气、检测系统等。其中微波模式转换器吕庆敖等　微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理75是关键部件。把矩形波导的 TE10模式转换为圆波导的 TM 01模式。TM 01模式激发低压含碳气体(133～ 9 310 Pa, H2 中混入 0. 1%～ 5% 的CH4) 形成等离子体。TM 01驻波模式的电场等势面分布为不接触谐振腔壁的同心椭球。这样, TM 01模式能激发不接触腔壁的椭球状等离子体, 避免了接触污染, 从而可能制备出高质量的金刚石薄膜。图 1 是M PCVD 装置中微波模式转换器和反应腔结构示意图。用硅胶法测定微波模式转换器工作原理TE10模式微波在矩形波导中遇到耦合天线后向下传播, 在天线尽头转变为 TM 01模式。为了搞清模式转变的详细过程, 作者把天线与圆波导看作同轴线, 并假设其模式转换过程: TE10模式转变为同轴线的 TEM 模式, TEM 模式再转变为 TM 01模式; 并假设前一个转变是突变的, TEM 模式有固定的初位相, 后一个转变是连续的, TM 01模式没有固定的初位相。为证明假设, 作者在反应腔内同轴放置一石英硅胶管(如图1 所示)。硅胶吸收微波能量变色可以显示反应腔内微波共振时 图 1　微波模式转换器及反应腔微波在轴向上的分布(传播波长)。由