[Rena前后清洗工艺培训教材.pptVIP

前清洗工序工艺要求 片子表面5S控制 不容许用手摸片子的表片，要勤换手套，避免扩散后出现脏片。 称重 1.每批片子的腐蚀深度都要检测，不允许编造数据，搞混批次等。 2.要求每批测量4片。 3.放测量片时，把握均衡原则。如第一批放在1.3.5.7道，下一批则放在2.4.6.8道，便于检测设备稳定性以及溶液的均匀性。 刻蚀槽液面的注意事项： 正常情况下液面均处于绿色，如果一旦在流片过程中颜色改变，立即通知工艺人员。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 产线上没有充足的片源时，工艺要求: 1.停机1小时以上，要将刻蚀槽的药液排到tank，减少药液的挥发。 2.停机15分钟以上要用水枪冲洗碱槽喷淋及风刀，以防酸碱形成的结晶盐堵塞喷淋口及风刀。 3.停机1h以上，要跑假片，至少一批（400片）且要在生产前半小时用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后的片子有滚轮印。 前清洗到扩散的产品时间: 最长不能超过4小时,时间过长硅片会污染氧化，到扩散污染炉管,从 而影响后面的电性能及效率 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 前 清 洗 工 艺 常见故障 刻蚀深度不 稳定 硅片表面有 大面积黄斑 硅片表面有 小白条 滚轮速度较 低或较高 原因及解决方法 a观察来片是否有异常，或者来片一批中是否是不同晶棒组成，因为 不同的片子会对应不同的刻蚀速率。 b查看溶液颜色，正常的颜色应该是灰色偏绿。如果觉得颜色过浅， 流假片，一般以400片为一个循环。然后测试4片硅片刻蚀深度。 观察碱槽溶液是否在循环，若没有循环，手动打开循环．若有循环则 说明碱浓度不够，需要补加碱． 观察气刀是否被堵，通过查看硅片通过气刀下方时表面液体有无被吹 干判断。 a一般我们要求滚轮在1.0~1.2的速度下流片，因为过低的速度会影响 产量，过高的速度风刀很难将硅片吹干。所以如果滚轮速度小于1.0， 需要手动加液，一般按9升HF，6升HNO3进行补液。同时可以将温度 提高，以1度为一个单位升高（可在5~8度之间进行调整）。但是对于 温度的设定，我们一般选择较低的温度，因为较低的温度下可以得到 很稳定的化学反应，所以温度一般不建议调高， b如果滚轮速度过高，在温度降低仍不能满足要求的情况下，可以加 水，但是仅能以5升为一个单位加入。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 前 清 洗 工 艺 常见故障 碱槽或酸槽 不循环 碱槽或酸槽流 量变小 流量突变，不能达到工艺设定流量 水纹片 原因及解决方法 观察设备下面的循环平衡有没有冒泡泡 原因分析：a: 可能风刀堵塞，使溶液跑到水槽2中； b: 可能喷淋堵塞； c: 可能滤芯堵塞； 解决方法：a:先期在初始界面处可以发现各自对应的模板,在“ready”“not ready”之间闪动，此时需要工艺立即 补液（HCL：HF：DI=8：3：23；KOH：DI=1：10） b:通知设备通风刀（冒泡泡）或清洗更换滤芯 （补加了药水后还没循环，浮标沉到底部不起来） 工艺需要检查槽中溶液是否满，如果不满则添加，如果是满的，则通知设备检查滤芯是否需要更换或清洗。如果是满的，则进行补液操作 前清洗流量会突然变为0，此时设备会报警，工艺立即到现场通知生产停止投料，通知设备人员调试设备，然后处理设备中的硅片，挑出外观未受影响的硅片继续下传，外观受影响的隔离处理 用手可以抹去的，检查出料处滚轮的干净程度，一般是出料处风刀中间段滚轮出现污染，需要设备擦拭，如果不严重，流假片也可以将脏东西带走。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 工艺卫生 前后清洗附近地面 机台表面(包括设备后区) 机台窗户 运输硅片用的小推车 承片盒 放置承片盒的桌子 设备显示器键盘和鼠标