国科大-半导体器件物理..docx

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国科大-半导体器件物理.

第一章 半导体物理基础1.主要半导体材料的晶体结构。简单立方(P/Mn)、体心立方(Na/W)、面心立方(Al/Au)金刚石结构:属立方晶系, 由两个面心立方子晶格相互 嵌套而成。Si Ge闪锌矿结构(立方密堆积), 两种元素,GaAs, GaP等 主要是共价键纤锌矿结构(六方密堆积),CdS, ZnS闪锌矿和纤锌矿结构的异同点共同点:每个原子均处于另一种原子构成的四面体中心,配种原子构成的四面体中心,配位数4不同点:闪锌矿的次近邻,上下彼此错开60,而纤锌矿上下相对2.金属、半导体和绝缘体能带特点。1)绝缘体价电子与近邻原子形成强键,很难打破,没有电子参与导电。 能带图上表现为大的禁带宽度,价带内能级被填满,导带空着,热能或外场不能把价带顶电子激发到导带。2)半导体近邻原子形成的键结合强度适中,热振动使一些键破裂,产生电子和空穴。能带图上表现为禁带宽度较小,价带内的能级被填满,一部分电子能够从价带跃迁到导带,在价带留下空穴。外加电场,导带电子和价带空穴都将获得动能,参与导电。3)导体导带或者被部分填充,或者与价带重叠。很容易产生电流3.Ge, Si,GaAs能带结构示意图及主要特点。1)直接、间接禁带半导体,导带底,价带顶所对应的k是否在一条竖直线上2)导带底电子有效质量为正,带顶有效质量为负3)有效质量与能带的曲率成反比,导带的曲率大于价带,因此电子的有效质量大;轻空穴带的曲率大,对应的有效质量小4.本征半导体的载流子浓度,本征费米能级。5.非本征半导体载流子浓度和费米能级。100K 载流子主要由杂质电离提供 杂质部分电离区(凝固区) 。100~500K,杂质渐渐全部电离,在很大温度范围内本征激发的载流子数目小于杂质浓度,载流子主要由掺杂浓度决定。?饱和电离区。500K,本征激发的载流子浓度大于掺杂浓度,载流子主要由本征激发决定。?本征区。6.Hall效应,Hall迁移率。当电流垂直于外磁场通过导体时,载流子发生偏转,垂直于电流和磁场的方向会产生一附加电场,从而在导体的两端产生电势差,这一现象就是霍尔效应,这个电势差也被称为霍尔电势差。Ey=RHJxBz霍尔系数RH=r(-1/qn)n型 or RH=r(+1/qn) p型 霍耳迁移率 7.半导体中的复合过程。复合速率:带间复合:辐射、俄歇过程间接复合(单能级复合):电子俘获发射、空穴俘获发射SRH复合理论,当Et=Ei时,复合率最大,因此最有效的复合中心是带隙中央附近的能级间接复合(多能级陷阱)表面复合:表面的各种缺陷作为复合中心8。半导体器件工作基本方程及用途。9*。载流子主要的散射机制A, 晶格振动或声子散射:B, 电离杂质散射:通常以这两种散射为主C, 中性杂质散射:在杂质浓度不是很高时,可以忽略D, 电子或空穴散射:在载流子浓度很高时要考虑E, 晶格缺陷散射:对于多晶等缺陷较多的材料要考虑F, 表面散射:载流子在表面区域 (如反型层) 运动时,受到表面因素(如粗糙度)引起的散射,主要是对薄膜材料要考虑.第二章 半导体接触的物理机制——pn结1。突变结的电荷、电场、电势分布,耗尽区宽度和电容。电荷电场E(x)=or,电势耗尽区宽度电容2。Pn结的理想电流电压特性—肖克莱方程的推导。I = Xn处的电子漂移电流 + Xn处的空穴扩散电流= Xp处的电子(少子)扩散电流 + Xn处的空穴(少子)扩散电流归纳为求少子扩散电流a.准费米能级分裂,电子和空穴的电流密度正比于各自的费米能级梯度b.耗尽区边界处的少子浓度(边界条件),正偏时,边界处的少子浓度比平衡时大,反偏时小c.连续性方程的得到少子分布 稳态、电中性、小注入、无电场d.耗尽区边界的少子扩散电流e.总电流(肖克莱方程)3。耗尽区产生复合、大注入、串联电阻效应等造成偏离理想情况的定性分析。1)产生复合 Jgen/rec=q|U|Wa.反偏 载流子发射 产生电流(随偏压缓慢增加 不饱和)室温下:若ni很大(例如Ge),扩散电流为主,反向电流符合理想情况若ni很小(例如Si),产生电流占优势高温下:(中性区)扩散电流为主b.正偏 复合过程是耗尽区内的主要产生复合过程假定在大部分耗尽区内,有最大的复合率,用Umax给出复合电流复合电流占优势: n=2,扩散占优势: n=1, 两种相当:1n2 .2)大注入空穴电流密度大注入作用好像是使扩散系数加倍大注入时,结上的压降与外电压和n区少子浓度有关由于在结区以外的压降,大注入使电流-电压关系改变,由原来的exp(qV/kT),变成exp(qV/2kT)3)串联电阻串联电阻使得中性区上有压降IR, 降低了耗尽区的偏压. I理想电流降低一个因子,使电流随电压的上升而变慢。当电流足够大时,外加电压的增加主要降在串联电阻上,电流-电压近似线性关系。4。了解扩散电容的形成。**

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