第2章位移检测传感器之电容式第2章位移检测传感器之电容式.pptVIP

第二章 位移检测传感器 5月2日第二大节结束 变面积型电容位移传感器可用于线位移测量，也可用于角位移测量。 根据不同需要采用平板型极板、圆筒型极板或锯齿型极板 这类传感器输入/输出具有线性特性 当有效覆盖从S0 变至 S，则 课堂练习 14、电容式传感器的电容量是其极板面积、（ ）、和极板间介质的介电常数的函数。（练一） 14、电容式传感器的电容量是其极板面积、（ 极板间隙 ）、和极板间介质的介电常数的函数。 35、画出变极距型电容位移传感器测量线位移的原理示意图，并分析小位移测量的灵敏度。(单元一） 15、把电容式位移传感器做成差动形式，即可以提高测量（ ），又可以使零点附近工作特性的线性度得到改善。（模拟二） 15、把电容式位移传感器做成差动形式，即可以提高测量（ 灵敏度 ），又可以使零点附近工作特性的线性度得到改善。 4、电容式测厚仪应用的传感器属于（模拟三） A.容栅式电容传感器 B.变极距型电容传感器 C.变介质型电容传感器 D.变极板面积型电容传感器 4、电容式测厚仪应用的传感器属于 C.变介质型电容传感器 15、变极距型电容位移传感器只有在（ ）测量时，其灵敏度才为常数。 15、变极距型电容位移传感器只有在（小位移）测量时，其灵敏度才为常数。 31、某变极距型位移传感器的极板直径为D=10mm,极板间介质的相对介电常数εr=500,空气介电常数ε0=8.85x10-12F/m。当极板间的初始距离δ0=5mm 时，求在微小位移测量时该传感器的灵敏度。（模拟五） 4、下列电容式位移传感器中，测量范围最大的是。（密押一） A. 变极板面积型 B.变极距型 C.变介质型 D.容栅式 4、下列电容式位移传感器中，测量范围最大的是。（密押一） D.容栅式 15、电容式传感器根据工作原理可分为变极距型、变面积型和( )型（密押一） 15、电容式传感器根据工作原理可分为变极距型、变面积型和(变介质)型（密押一） 4、电容式液位计属于（2010） 4、电容式液位计属于（2010） 课后作业 25、差动式电容位移传感器有哪些特点？（模拟三） 25、差动式电容位移传感器有哪些特点？（模拟三） 25、简述容栅式电容位移传感器的优点？（模拟四） B.改变介质型电容式传感器 变介质电容式液位传感器 外筒内径 内筒外径 传感器总高度 介质高度 有液体介质后传感器的电容值为： 可见，电容式液位计具有线性输出特性。在用于位移或尺寸测量的变介质电容位移传感器，一般都具有较好的线性关系。故这种传感器可以测量液位、料位的高度。 （三）变介质型电容位移传感器 电容液位计 厚度传感器 厚度传感器的等效电路 C C1 C2 C3 （三）变介质型电容位移传感器 在用于位移或尺寸测量的变介质电容位移传感器，一般都具有较好的线性关系。但也有输入/输出呈非线性关系的。 ——下图中是一改变介质电容传感器，它的输入/输出呈非线性关系。极间介质材料可为纸、布或胶片，这种传感器可用于测量介质的厚度；也可通过测量介质的介电常数间接测量影响介电常数的某些量，如湿度、温度等。 δ d 电容测厚仪 设极板形状为长方形，面积为S,两极板间的距离为d；被测物的厚度为δ （三）变介质型电容位移传感器 厚度传感器的等效电路 C C1 C2 C3 δ d ε0 ——真空介电常数 εr ——介质的相对介电常数 ε——介质的介电常数， ε= εr ε0在空气中εr=1 电容测厚仪 ε εr δ 电容测厚仪 C1 C3 C2 d ——电容C与介质厚度δ介电常数ε之间的关系是非线性的 （四）容栅式电容位移传感器 容栅位移传感器的工作原理 容栅位移传感器是根据在间隙δ和介电常数ε一定的条件下，电容△C的变化量的大小与耦合面积△S变化量的大小成正比，因此容栅式传感器是在变面积型电容传感器的基础上发展起来的一种新型传感器。 容栅位移传感器可分为两类，即长容栅位移传感器和圆容栅角位移传感器。 （四）容栅式电容位移传感器 容栅位移传感器是将电容传感器中的电容极板刻成一定形状和尺寸的栅片，再配以相应的测量电路就构成了容栅测量系统。正是特定的栅状电容极板和独特的测量电路使其超越了传统的电容传感器，适宜进行大位移测量。 容栅位移传感器的工作原理 （四）容栅式电容位移传感器 见P19—— 图2-13a,1是固定容栅，2是可动容栅，在A、B面上分别印制（或刻划）一系列均匀分布并互相绝缘的金属（如铜箔）。固定容栅与可动容栅栅极面相对，中间留有间隙δ，形成一对对电容。当可动容栅相对固定容栅移动时每对电容面积发生变化，因而电容值随之变化，可测出线位移或角位移。 容栅位移传感器的工作原理 （四）容栅式电容位移传感器