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- 2017-01-11 发布于湖北
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故障处理 第一道: 1.上料台Feed C/V2经常会有承载盒不到位引起的报警,可以分为两种:一种是Magazine 处在Down的位置,只要把盒子推到位就可以了;另一种是Magazine 处在Up 的位置,那时你推盒子是推不动的,因为被卡死了,只要让Magazine 处在Down 位置再把盒子推到位就行了。 2.Wafer transfer 经常会吸住承载盒内的拖盘而报警,原因是盒子上端开口比较大,拖盘挡住了感应器而造成,只要将拖盘放正,把Wafer transfer移到另一个位置就行了,把盒子整一下。 3.Wafer transfer 有吸两片的现象,方法有a .调节风刀的大小和风刀吹风的位置; b .调节四个吸嘴的高低;c .调慢气缸的上升速度;d ,风刀吹风的时间。 4.Alignment 因为硅片碎掉,摄想头定位出现报警而造成的机械手不动作,方法有a .放好片子上重新照点定位就可以;b .如果a 不行,只有甩源关掉,用手将Alignment 推离Standby P1的位置,然后重新启动电源,让Alignment 有一个复位的过程旧可以了。 5.印刷台面有压板的现象,原因有:网板下面胶带粘的太多太厚,员工在装片时没有注意硅片与硅片之间是否有小碎片或灰尘,印刷台面没有调平或是刚带打毛,硅片本身有受过伤或裂痕。 第二道: 1.背电场有铝包或是铝珠:
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