AE(AdvancedEnergy)直流电源..docVIP

AE(Advanced Energy)直流电源 Pinnacle 系列产品 业界公认的 Pinnacle 直流电源平台具有绝佳的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界最低的存储能量、最快的弧反应以及最广的全功率运行阻抗范围。 优势: ●最低的运行和安装成本 ●业界最快的弧反应时间 ●可配置的弧反应参数 ●最大的工艺效率 ●精确的工艺控制 特点: ●最低的存储能量——每千瓦输出不到 1mJ ●无需调节输出变压器 ●4:1的阻抗范围 ●靶材处理时间——最大限度地缩短新靶材的处理时间 ●±0.1%的输出重复性 ●Joule 模式——最优化的能量传送. 规格： ●输入电压：200/208、400或480VAC（±10%）、3Φ4线、50/60kHz ●功率因素：负荷＞90% ●输出电压：低Z、标准Z或高Z ●输出极性：浮动默认值，具有正和负功能 ●输出波纹电压：与输入线频有关，输出波纹电压分量＜5%RMS ●输出功率重复精度：0.1%，从设计功率到10%到100%。 ●负荷调整：±1%，输出阻抗范围的V-1限值内4﹕1的 负荷变化 ●温度系数：＞20℃至40℃的环境温度范围内调整输出参数变化＜0.005%/℃ ●模拟接口选项：37针绝缘，0至10VDC模拟。0/24VDC数字 37针，0至10VDC模拟，0/15VDC数字 37针，0至5VDC模拟，0/15VDC数字 ●串行通信选项：RS-232，RS-422，RS-485（可选波特率高达57.6K） AE Bus 协议 ASCⅡ协议（MDX和仿真） Profibus（可选波特1.5或12MB）AE Bus协议 具有DeviceNet?选项 ●输出功率接头：三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环 ●输入功率接头：五个终端，DIN压缩接头 尺寸：133×483×639mm（高×宽×长） ●重量：29.5kg Pinnacle? 6KW、6/6KW、8KW、10KW、10/10KW、12KW、15KW、20KW Pinnacle Plus+系列 Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。 优势: ●更高的沉积率与产品率 ●薄膜均匀性和品质一流 ●成弧造成的基材损坏减少 ●成本更低 ●系统整合容易 ●极佳的工艺灵活性和宽容度 ●重复性能 ●在过度曲线上运行稳定 ●吞吐量更高 ●便于监控 ●无与伦比的系统灵活性 特点: ●一个紧凑型封装 ●频率调节范围为 5-350kHz ●占空比高达45% ●电压范围宽——单输出宽阻抗范围 ●大功率运行 ●基材温度低 ●单输出（5kW 和 10kW 型号） ●用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号） ●绝佳的弧控制 ●反应性溅射闭环控制 规格： ●输出功率：5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出 ●电压范围：325-650VDC，可选325-800VDC输出（宽Z） ●输出功率接头：五个终端、DIN压缩接头；最大电线尺寸：＃6 AWG ●输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头 ●最大电流：15.4ADC；15.4ADC/输出；30.8ADC ●频率：5到350KHz，可变 ●反向电压：工作电压的10% ●点火功能：最大1500VDC，正常1350VDC ●调节模式：功率、电压或电流 ●交流线电压：200/208、400或480VAC ●电流：5KW：200/208VAC：标称值17A/Φ 400VAC：标称值8.5A/Φ 480VAC：标称值7.5A/Φ 5KW双输出/10KW单输出 200/208VAC：标称值35A/Φ 400VAC：标称值17A/Φ 480VAC：标称值15A/Φ ●尺寸：133×483×639mm（高×宽×长） ●重量：5KW：21.4kg；5/5、10KW：30kg Pinnacle Plus+ 5KW、5/5KW、10KW Pinnacle 3000系列 A