FEMAG晶体生长模拟软件之Czochralski_(CZ)_Process_(FEMAG-CZ)..docVIP

FEMAG晶体生长模拟软件 Czochralski (CZ) Process（FEMAG-CZ） FEMAG直拉法模拟软件FEMAG-CZ）用于模拟直拉法工艺（包括Cz, MCz, VCz,泡生法? FEMAG-CZ直拉法模拟软件用于新的热场设计大直径晶锭生长 无缺陷硅晶锭生长 提高成品率 氧含量控制 降低碳含量 晶锭半径和沿轴向的电阻率差异减小 CCZ工艺仿真 磁场设计 蓝宝石生长工艺设计FEMAG-CZ模拟软件通过降低试验成本而节省了RD消耗 大直径晶锭生长 以期不进行大量昂贵的可行性试验生长大尺寸晶体看起来是不太现实的FEMAG-CZ软件提供这种可能性为了生产450 mm及以上的大尺寸无缺陷硅晶体FEMAG-CZ来定义关键的工艺参数而无需任何材料和能源的消耗FEMAG-CZ能够设计新的热场并研发新的工艺技术在EMAG直拉法模拟还能进一步为晶体生长工程师给出在某一工艺配置下产出的最终成品的质量和成本信息比如晶体中的温度梯度氧 通过软件能够获得硅 ???FEMAG 3D 熔体流动模拟结果????????? ?? ? ? ?? FEMAG动态模拟 ? 无缺陷硅晶锭生长 无缺陷晶体硅生长是世界上最大的难点之一运用缺陷工程模块可以预测晶体炉或者其他指定直拉法工艺环境中生长的晶体成品质量缺陷工程模块洞悉硅锗生长过程中填隙原子 FEMAG-CZ能够成为你的测试平台试验在不同的操作条件下对晶体生长质量的影响如热场设计 加热器功率 晶体和坩埚的旋转速率 晶体提拉速度坩埚的位置 气体流率和压强 一旦掌握了晶体生长工艺中的动态规律就可以找到最优的配置以增加成品率和投资回报直拉法晶体生长中的填隙原子和空位的动态预测直拉法晶体硅生长中的 提高成品率 在没有任何结构损失的情况下直拉法晶体炉所能达到的最大提拉速度是什么你是否也在寻找这一难题的解决方案呢你知道影响产出的限制因素是什么吗 FEMAG直拉法模拟软件可以帮助工程师在晶体生长过程的每一个时刻追踪关键参数的变化直拉法模拟软件为工程师们提供了在晶体生长过程中凝固前沿形状热弹性应力溶体流动形态气体流动形态等信息用户可以通过上述的参数信息优化其工艺条件从而增加凝固生产效率和产出 因此EMAG直拉法模拟软件工程师不仅可以增加其产出还能获取下一直拉法晶体生长的三维应力分布 ?  氧含量控制 氧气是晶体生长过程中至关重要的影响因素氧含量的控制都是工业上的一大挑战N型硅太阳能电池，要求氧含量必须尽可能少，氧含量(FEMAGCZ-TMF)来测试新的技术（比如新的磁场设置）来优化氧气的分布情况。FEMAG直拉法模拟软件为工程师提供了创新的氧气模型以精确地预测晶体中氧气的变化情况。 硅晶体直拉法生长的氧含量预测 ? 碳含量控制 碳是不需要的额外成分会从石墨元素中渗入到硅晶体中无论是半导体晶圆或太阳能晶片碳的存在都会产生负面效应为工程师们提供了特有的模型去分析指定工艺过程的碳浓度?  电阻率差异减小 生长轴向和径向电阻率均匀的晶体一直是一大难题 高电阻率或者超高电阻率硅晶圆的主要特征是在晶圆厚度方向电阻率的良好均匀性FEMAG-CZ模拟软件通过计算整个晶体生长过程里的掺杂分布来帮助工程师们设计一种理想的晶体生长工艺以达到均匀的电阻率一些最早使用直拉法硅晶体生长的硼浓度分布预测  连续提拉法CCZ）工艺仿真 连续提拉法晶体生长是一项复杂而具有市场潜力的技术显然这项技术相当费钱甚至还会导致企业破产但我们仍想知道怎样才能掌握这项工艺 工业使用者梦想通过Z晶体生长法得到超高电阻率硅片高电阻率或者超高电阻率硅晶圆在晶圆厚度方向电阻率的良好均匀性在晶体生长技术推向工业生产之前都会进行无数次的设计测试和实验付出极大的金钱消耗 FEMAG直拉法模拟软件会帮助晶体生长工程师了解他们的连续提拉法工艺质量和成本来源。根据指定的工艺条件，掺杂数量和掺杂种类计算掺杂的分布情况，FEMAG直拉法模拟软件能够帮助工程师设计出能够达到最佳电阻率均匀性的工艺过程。 FEMAG直拉法模拟软件是成功掌握 连续提拉法的温度预测 ?连续提拉法熔体自由表面上部的氩气流场分布 磁场设计 为生长出高质量的晶体直拉法晶体炉中的磁场设计是很值得去探究的但是你知道设计何种强度和磁场位置可以更好的发展完善在半导体晶锭的工业生产中应用各种各样的磁场设计方案CZ横向磁场软件(FEMAGCZ TMF)能够直观地仿真磁场对晶体生长过程的影响。FEMAG直拉法横向磁场模拟软件是一项首创的三维有限元分析技术，能够在短短一天之内完成工业化晶体生长的三维仿真分析。 学习与