第11讲光栅传感器分析.pptVIP

光栅传感器 致 谢 谢谢大家！ 王萍 电气信息学院 二O一O年三月 光栅传感器的结构、光源、光电元件 莫尔条纹形成的原理、特点 光栅的光路、辨向原理、细分技术 光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。 移动 固定 光栅副：指示光栅＋主光栅 a+b=W称为光栅的栅距（或光栅常数） 通常情况下，a=b=W/2 原理说明（放大作用） 如果将指示光栅在其自身的平面内转过一个很小的角度后，这样两块光栅的刻线相交，当平行光线垂直照射标尺光栅时，则在相交区域出现明暗交替、间隔相等的粗大条纹，称为莫尔条纹。由于两块光栅的刻线密度相等，即栅距ω相等，使产生的莫尔条纹的方向与光栅刻线方向大致垂直。当θ很小时，莫尔条纹的节距 W=ω/θ 这表明莫尔条纹的节距是栅距的1/θ倍。 原理说明（移动成比例并具有方向性） 当标尺光栅移动时，莫尔条纹就沿与光栅移动方向垂直的方向移动。当光栅移动一个栅距ω时，莫尔条纹就相应准确地移动一个节距W，也就是说两者一一对应。因此，只要读出移过莫尔条纹的数目，就可知道光栅移过了多少个栅距，而栅距在制造光栅时是已知的，所以光栅的移动距离就可以通过光电检测系统对移过的莫尔条纹数进行计数、处理后自动测量出来。 原理说明（均化误差） 光电元件 包括有光电池和光敏三极管等部分。 在采用固态光源时，需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件，以获得高的转换效率。在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 莫尔条纹形成的原理 横向莫尔条纹的斜率 莫尔条纹间距 莫尔条纹的宽度BH由 光栅常数与光栅夹角决定 莫尔条纹技术的特点 （1）调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了放大作用，又提高了测量精度。 （2）莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信号作进一步细分，即采用“倍频技术”。这样可以提 高测量精度或可以采用较粗的光栅。 （3）光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。 因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量度。这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 径向光栅进行角度测量 当标尺光栅相对于指示光栅转动时，条纹即沿径向移动， 测出条纹移动数目，即可得到标尺光栅相对指示光栅转动的角度。 光栅的光路 （1）透射式光路 1-光源 2-准直透镜 3-主光栅 4-指示光栅 5-光电元件 ?此光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。 特点：结构简单，位置紧凑，调整使用方便，应用广泛。 （2）反射式光路 1反射主光栅 2-指示光栅 3-场镜 4-反射镜 5-聚光镜 6-光源 7-物镜 8-光电电池。 该光路适用于黑白反射光栅。 辨向原理 单个光电元件接收一固定点的莫尔条纹信号，只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方向，因而就不能判别运动零件的运动方向，以致不能正确测量位移。 如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲数累加，而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减去反向移动的脉冲数，这样就能得到正确的测量结果。 辨向光路设置 在相距的位置上设置两个光电元件1和2， 以得到两个相位互差90°的正弦信号 辨向电路 正向移动时脉冲数累加，反向移动时，便从累加的脉冲数中减去反向移动所得到的脉冲数，这样光栅传感器就可辨向。 辨向电路各点波形图 细分技术 提高分辨力方法：在选择合适的光栅栅距的前提下，以对栅距进行测微，电子学中称“细分”，来得到所需的最小读数值。 细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲，以减小脉冲当量提高分辨力。 （1）直接细分 直接细分又称位置细分，常用的细分数为4。四细分可用4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲，实现了四细分。 优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 未细分(a)与细分(b)的波形比较 （2）电阻电桥细分法（矢量和法） 用此信号去触发施密特电路 电阻电桥细分法用于10细分 （c）电阻链细分法（电阻分割法） 实质：用电阻衰减器来进行细分。 等电阻链细分电路