无尘车间标准等级的划分..doc

无尘车间标准等级的划分 无尘的等级说明 首先是等级定义如下： Class X (at Y μm ) 其中X是无尘的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。以下是几个例子： Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) Class 100(0.2μm , 0.5μm ) Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3.5) and Greater? (Class 100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5)? (Class 10，1.... )，一般要看多几个粒径。 第二个是规定无尘的状态，例如： Class X (at Y μm )，At-rest 第三个是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如： Class 10000 (0.3 μm = 10000)，As-built?Class 10000 (0.5 μm = 1000)，As-built? 这样做的目的是确保无尘在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。 　 以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义，和ISO-14644的等级定义。 ? ?Class Name ? ? Class Limits 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units SI U.S. (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M 1 ? 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M 2 ? 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M 2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - - M 3 ? 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - - M 3.5 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - - M 4 ? - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - - M 4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7.00 M 5 ? - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5 M 5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70.0 M 6 ? - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175 M 6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700 M 7 ? - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750 　 ISO-14644洁净度定义? ISO classification number(N) Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1). 0.1mm 0.2mm 0.3mm 0.5mm 1mm 5mm ISO Class 1 10 2 ? ? ? ? ISO C