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ID处品质改善成果报告陈琦华
从2003年8月份起到至今的一年里,D处经历了风风雨雨,取得了辉煌的成绩。特别是品质得到了很大的提升。D处能取得如此骄人的业绩并非一朝一夕的成就,而是在厂务/ED/RD/QA/TPM等单位的协助,D处各品质专案的有效运作推动下,全体ENG/EXP助工/品位助工努力的结果。下面我们就谈谈D处的品质改善运作状况,提供给各位参考。
D处品位改善成效从以下说明:
1、A管率从95.8%→98.3%
Aug-03 Sep-03 Oct-03 Nov-03 Dec-03 Jan-04 Feb-04 Mar-04 Apr-04 May-04 Jun-04 Jul-04 Aug-04 Sep-04 7# 96.05% 96.20% 97.40% 97.50% 96.80% 97.80% 97.30% 96.90% 97.50% 97.40% 97.60% 97.50% 97.90% 97.80% 8# 95.87% 95.82% 96.90% 96.90% 96.50% 97% 97.50% 97.10% 97.50% 97.60% 97.30% 97.80% 98% 98.30% 2、SEC的生产从合格率20%(或者到不能生产)→65%;9月份ITC缴库SEC 108K;
3、YAM的直通率由73%→81%,500NIT并具备生产T+D的能力;
4、客诉也大大改善。AOCSEC WU客诉 16件(03年4Q)→1件(04年3Q);
5、色纯品质有较大的提升, 300NIT 由原来7~8%,降至现在的3~4%,500NIT 色纯由7~8%不良率降至现平均3%左右,进步最大数APPLE管种,APPLE色纯由原来的20% 多不良,降至现在3%以下,平均不到2%,为YAM直通率提升及D处利润的极大化立下汗马功劳。
6、具备生产多种管种(SEC/A3/500NIT/300NIT/APPLE/SEMI-TINT)的能力;各工程的设备、品质COVER进行优化;
品位改善的主要内容:
1、WU优化从生产SEC开始进步快,具体有效的措施如下:
改善方向 改善前状况 改善对策 实施日期 成效确认 四周偏青 周边目视偏青,主要为四周的空孔差
.G、B、R上方区HEATER增加,加强边角干燥及减少空孔, 4/16 四周青得到有效改善。 目视不均匀 中心区域红青不均匀,原因R干燥与显像搭配不佳 F POS3(R显像)席中心显像喷嘴由一支改为并列可调整的两支0.5Φ喷嘴。 6/12 目视均匀 WU全画面测值大 PT1/4/7偏青及X值小 New Correction fiter F155- 17-5k/6k导入500nit管种。
F155-19-1k(RB)/2k(G)导入SEC 5/15 改善明显。WU整体的⊿x测值由avg:7→5 BC Mottle WU目视呈黑斑是SEC导入最CARE之问题 1、EXP 前温度由53±1℃降为51 ±1℃管制;
2、DAG显像位置调整;
3、RES粘度14.5改为14; 6/17 WU中心的黑斑三星可接受 WU目视左右阴阳脸 由于露光的水银灯寿命短,且易受RES、温度、电压等影响,导致BC SIZE/WU波动大。后段及客户常抱怨WU阴阳脸或BU不佳。 BC SIZE 及SC WU CHECK增编品质助工专项负责:
1.1: 1pc/台/HR;
1.2: 更换LAMP及调整曝光设定时CHECK;
1.3: WU目视均匀性:SAMPLE建立目视教育,以将目视偏红、青、黄管拦截并 反馈改善;
5/6 改善效果显著 (R-B)X或(R-B)Y影响WU 枪的APL不稳定,严重影响(R-B)X或(R-B)Y 1、Gun G32孔径加严检测导入
2、 9/06 改善不明显 DOMING影响WU Doming造成左右肺Landing差异变大 ,影响WU 1、导入TWO-METAL HOLD,DOMING量变小5UM
2、中心(R-B)X控制在(0,10),(R-B)Y控制在(-4,+6)。 4/20 DOMINT后WU 三星可接受 PT2 .8青 由于PT2/8点的水平LANDING差异大,造成WU偏青 1、LAMP TILT机构导入,改善PT2,8点(R-B)x与第5点差异大状况
7/20 500NIT先导入,效果佳 2、PM工程2004年2Q/3Q取得重大突破,这为后续的LANDING/PURITY提供了参考,具体体现如下;
改善方向 改善前状况 改善对策 实施日期 成效确认 500NIT/SEC/APPLE PT4/6 V-Landing tilt PT4/6 V Landing tilt左负右正,E-LAB 07/27和0
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