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第7章 霍尔传感器及其应用 本章主要学习霍尔传感器的工作原理、霍尔元件的结构、霍尔集成电路的特性及其在检测技术中的应用。 霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。属半导体磁敏传感器。 1879年,美国物理学家霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应。但真正得到应用是随着半导体技术发展开始的。 基于霍尔效应的霍尔传感器是将被测量(如电流、磁场、位移、压力、转速等)转换成电动势输出。 §7.1 霍尔元件的结构及工作原理 金属或半导体薄片置于磁感应强度为B 的磁场中,磁场方向垂直于薄片,当有电流I 流过薄片时,在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势EH,这种现象称为霍尔效应。 霍尔效应演示 当磁场垂直于薄片时,电子受到洛仑兹力的作用,向内侧偏移,在半导体薄片c、d方向的端面之间产生霍尔电势。 二、霍尔效应的工作原理 作用在半导体薄片上的磁场强度B 越强,输入电流越大,霍尔电势也就越高。霍尔电势EH可用下式表示:EH=KH IB (KH称为霍尔元件的灵敏度) 磁场不垂直于霍尔元件时的霍尔电动势 若磁感应强度B不垂直于霍尔元件,而是与其法线成某一角度? 时,实际上作用于霍尔元件上的有效磁感应强度是其法线方向(与薄片垂直的方向)的分量,即Bcos?,这时的霍尔电势为 EH=KHIBcos? 霍尔元件结构很简单,由霍尔片、四根引线和壳体组成。 霍尔片一般是矩形半导体单晶薄片,国产霍尔片的尺寸一般为4mm×2mm×0.1mm。 近年来采用外延及离子注入工艺或采用溅射工艺制造的产品,尺寸小,性能好,并且生产成本低。 一、霍尔元件的主要特性参数 6)额定控制电流Ic:额定控制电流是使霍尔元件在空气中产生10℃温升的控制电流。大小与霍尔芯片的尺寸有关:尺寸越小,Ic越小。 7)寄生直流电势vg:在不加外磁场时,交流控制电流通过霍尔元件而在霍尔电极之间产生的直流电势。 8)霍尔电动势温度系数α:霍尔电动势变化的百分数称为霍尔电动势温度系数。 9)电阻温度系数β:电阻温度系数β为温度每变化1℃霍尔元件材料的电阻变化率。 二、霍尔元件的误差 1)零位误差 不等位电动势 寄生直流电动势 感应零电动势 自激场零电动势 2)温度误差 注意:不等位电动势是霍尔零位误差中最主要 的一种。 在磁场与控制电流的作用下,负载上就有电压输出。建立霍尔效应的所需的时间很短(约10-12~10-14s), 因此控制电流用交流时,控制电流的频率也可以很高。 3、恒压工作电路 恒压工作比恒流工作的性能要差些,只适用于精度要求不太高的地方。 二、霍尔集成电路 随着集成技术的发展,用集成电路把霍尔元件和相关的信号处理部件集成在一个单片上制成单片集成霍尔元件。 按输出信号的类型,霍尔集成电路可分为 线性型和开关型两大类。 1、霍尔线性传感器 霍尔线形传感器的输出电压与外加磁场强度呈线性比例关系。 这类传感器一般由霍尔元件和放大器组成,当外加磁场时,霍尔元件产生与磁场成线性比例变化关系的霍尔电压,经放大器放大后输出。 霍尔线性传感器有单端输出和双端输出两种。 双端输出线性集成电路UGN-3501M采用8脚封装。1、8两脚为输出,5、6、7三脚之间接一个电位器,对不等位电动势进行补偿。 §7.4 霍尔传感器的应用 霍尔电势是关于I、B、? 三个变量的函数, 即: EH=KHIBcos? 利用这个关系可以使其中两个量不变,将第三个量作为变量,或者固定其中一个量,其余两个量都作为变量。这使得霍尔传感器有许多用途。 二、 霍尔电流传感器 在磁芯上开一气隙,内置一个霍尔线性器件,器件通电后,便可由它输出的霍尔电压得出导线中流通电流的大小。 霍尔电流传感器演示 铁心 2)零磁通式(磁平衡式) 将霍尔器件的输出电流放大后,通过补偿线圈,并令补偿线圈产生的磁场和被测电流产生的磁场方向相反,若满足条件ION1=ISN2,则磁芯中的磁通为0,这时下式成立: 五、 霍尔无刷电机 1、由于无电刷,没有磨损问题,寿命长、可靠性高 2、具有良好的旋转特性,可以取得很宽的转速特性、噪音低、起动转矩为额定转矩的2~3倍、稳定性好。 无刷电动机在电动自行车上的应用 电动自行车 1)直接测量式霍尔电流传感器 由霍尔输出电压的数值直接得出被测电流值。 在这种应用中,霍尔器件是磁场检测器,它检测的是磁芯气隙中的磁感应强度。电流增大后,磁芯可能达到饱和;随着频率升高,磁芯中的涡流损耗、磁滞损耗等也会随之升高。这些都会对测量精度产生影
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