毕业论文翻译金刚石刀具表面涂层厚度研究.docx

铂涂层在聚焦离子束金刚石切削刀具铣削加工的厚度方面和去除铂层的方法的研究摘要：近年来，纳米加工在先进制造科学和技术领域受到了越来越多的关注，作为一个控制材料结构、成分、设备和纳米系统的增值过程。在这些产品上运用亚微米模式，微纳米级单晶金刚石切削刀具是必不可少的。最广泛的非接触的金刚石复合材料宏/微观处理方式是激光脉冲烧蚀（PLA）和电火花加工（EDM）。然而，在金刚石刀具加工方面，这些机械加工方法是不适用的。尽管金刚石极端的物理属性，金刚石也能够用聚焦离子束（FIB）技术相对简单的加工。在FIB铣削加工中，金刚石切削刀具的表面性质是被由FIB镓离子束的碰撞和移植所导致的无定形的损伤表面影响的，而且这些影响了金刚石切削刀具的边缘锋利度，增加了处理程序。为了保护金刚石衬底，在金刚石FIB铣削中，一个铂（Pt）涂层是必不可少的。在这个课题中，在FIB制造中能够减少过程性损伤的铂涂层的厚度还有去除金刚石刀具的表面铂层的方法将被研究。最优的铂涂层厚度已经被证实了，这对维持刀具边缘锋利程度，减少处理过程意义重大。超精密的磨削方法和王水腐蚀方法已经被研究出来去除铂涂层。实验结果表明，当金刚石刀具的宽度超过500纳米的时候，超精密的磨削方法对于去除金刚石刀具的铂层是适当的。但是超精密磨削不适用于金刚石刀具宽度低于500纳米的情况，因为磨削造成的金刚石刀具损伤的可能性会提高。尽管王水腐蚀法在去除刀具表面铂层中需要更多的流程，但是这对于道具宽度在500纳米以下的刀具是可行的。关键词：聚焦离子束（FIB），铂涂层，超精密磨削，腐蚀，王水。1.介绍自由表面可以运用到光学系统中实现新颖的功能、提高性能、缩小尺寸、减少各类产品的成本。光学自由曲面应用于光学、医学、光纤通信、生命科学、航空航天等领域[1-3]。例如，非球面和菲涅尔透镜可以有效的改善图像质量和色差，减小光学设备的尺寸[4]。透镜阵列对于光集成和图像改进是十分有效的[5]。F-theta镜片由于其精密的位置特征被广泛运用于扫描系统[6]。光学自由曲面已经成为定量光技术的一个关键元素，这对各个领域越来越重要[7, 8]。为了确保这些光学系统正常运作，微纳米的单晶金刚石刀具至关重要。激光脉冲烧蚀（PLA）和电火花加工（EDM）在金刚石的制造中是最普遍的非接触式加工方法[9]，但是它们不适用于纳米级金刚石刀具的制造。近年来，聚焦离子束铣削技术已经被应用到透射电子显微镜[TEM]的样本制备中。由于金刚石的极端属性，很难用金刚石通过传统的制备方法包括机械切削、离子铣、化学腐蚀等来制备一个TEM样本[10,11]。FIB可以制备一个具有代表性的金刚石的TEM样本，而这仅仅需要数个小时。FIB显然是一个十分有用的技术对于需要高精度的微米和纳米水平的金刚石的制备过程来说。通过FIB铣削技术，我们获得了一个形状合适的微纳米级金刚石切削刀具。在FIB铣削中，因为高斯光束的特征，金刚石可能会被损坏。在FIB铣削期间，为了保护金刚石，一个铂涂层作为保护层确保铣削精度和刀刃锋利程度是至关重要的。在这个研究中，作为FIB铣削保护层的铂层合适的厚度，还有在FIB铣削后铂层的去除方法都已经被证实。2.聚焦离子束（FIB）FIB设备的基本工作原理是溅射原子从目标材料用加速重离子轰击它。溅射过程的效率取决于离子源，必须满足以下要求：在给定的加速电压下动量转换的速度，通常为30KeV，需要最大化地利用重离子，原材料有低熔点和低蒸汽压的特点。这两个要求都是为了迎合镓离子。镓的熔点是29.8℃。一个镓的液态金属离子源（LMIS）是由一个小的镓池连接到钨针上组成的。固态镓加热到熔点，液态镓通过表面张力流向钨针的尖端，并浸湿它。一个强电场E=108V/cm应用于钨针的尖端的尾部。导致液态镓形成一个直径大约在2-5纳米的点源，并从狭窄的尖端提取离子。镓离子在电场强度超过30KeV电场中加速。流向尖端的连续流动的液体Ga替换了提取的Ga +离子,导致离子电流不变,这是一个自动化溅射过程的基本要求[12]。3.实验装置一个超精密磨床和FIB被用于制造微纳米级单晶金刚石刀具。PG3B超精密行星研磨机（COBRON工程学，罗姆福，英国）被用于制备金刚石刀具并去除表面铂层。PG3B可以使短波工具降到100nm或者更低。图1a 显示了单晶金刚石尖端银钎焊的插入过程，图1b,c显示了在FIB铣削之前用超精密磨床制备的单晶金刚石顶部和侧面的扫描图像。精密磨床制备的金刚石尖端的边缘宽度大约是5.3μm。图1：（a）超精密磨削制备的单晶金刚石刀具的照片 （b）制备的金刚石样品顶部的扫描图像 （c）制备的金刚石样品侧面的扫描图像发展微纳米级单晶金刚石刀具的实验用FIB 被实施了（FEI COMPANY, system Nova 600 Nanolab, Hill