微波与等离子体合成讲义.pptVIP

2.1.3 复合过程 复合是电离的逆过程 —— 电离产生的正负荷电粒子重新结合成中性原子或分子的过程，包括： 三体碰撞复合 辐射复合 正负离子碰撞复合 辐射复合： 电荷交换复合： 三体复合： 2.1.4 附着和离脱 放电等离子体中的荷电粒子 附着：原子或分子捕获电子生成负离子的过程； 离脱：附着的逆过程。 附着机制：包括电子附着，辐射附着，三体附着，离解附着，等等。 电子 正离子 负离子 固体物质M的表面催化作用，促进气体分子离解和复合 表面处理（表面改性） 等离子体化学气相沉积； 溅射制膜，等等。 集成电路中的等离子体刻蚀； 等离子体灰化去除光刻胶； 分析化学中的有机物样品低温灰化； 等离子体化学气相输运，等等。 等离子体的反应类型 2.3 获得微波等离子体的方法和装置 2.4 微波等离子体的应用 光导纤维 强功率激光激发源 太阳电池薄膜制备 超导薄膜制备 微波等离子体刻蚀 金刚石薄膜合成 合成氨 氮氧化物合成 聚合物薄膜与无机薄膜制备 需要掌握的内容 1 微波与材料的相互作用包括的几种类型 2 微波加热的原理和特点 3 微波加热法在无机材料合成中的应用具体实例 4 什么是微波自蔓延燃烧合成法及其特点 5 微波等离子体的优势 6 等离子体的主要基元反应包括哪些 * * * 第八章 微波与等离子体合成 微波辐射法在无机合成中的应用； 微波等离子体化学。 微波 定义：通常是指波长为1m – 0.1mm范围内的电磁波，相应频率范围是300MHz – 3000GHz。 雷达：1 ~ 25 cm； 通讯：其它波长； 加热 家用：2450MHz（12.2 cm） 工业：915MHz（32.8 cm） 微波的基本性质：穿透、吸收和反射 穿透：如玻璃、塑料和瓷器 微波透入介质时，与介质发生一定的相互作用，使介质的分子发生数千万次的震动，介质的分子间互相产生摩擦，引起的介质温度的升高，使介质材料内部、外部几乎同时加热升温，形成体热源状态，大大缩短了常规加热中的热传导时间，且在条件为介质损耗因数与介质温度呈负相关关系时，物料内外加热均匀一致。 吸收：如水和食物 。 物质吸收微波的能力，主要由其介质损耗因数来决定。介质损耗因数大的物质对微波的吸收能力就强，相反，介质损耗因数小的物质吸收微波的能力也弱。由于各物质的损耗因数存在差异，微波加热就表现出选择性加热的特点。物质不同，产生的热效果也不同。水分子属极性分子，介电常数较大，其介质损耗因数也很大，对微波具有强吸收能力。而蛋白质、碳水化合物等的介电常数相对较小，其对微波的吸收能力比水小得多。因此，对于食品来说，含水量的多少对微波加热效果影响很大。 反射；如金属 微波与材料的相互作用 根据材料对微波的反射和吸收的情况不同可以分为四种类型： 良导体 —— 金属物质，能反射微波，可用作微波屏蔽，也可用于传播微波能量（如黄铜或铝波导管）； 绝缘体 —— 玻璃，云母，部分陶瓷材料等，可以被微波穿透，几乎不吸收微波能量； 微波介质 —— 能够不同程度地吸收微波能而被加热，特别是含水物质吸能升温效果明显； 磁性化合物 —— 微波加热效果主要来自交变电磁场对材料的极化作用。交变电磁场使材料内部的偶极子反复调转，产生更强的振动和摩擦，使材料升温。 1. 微波辐射法在无机合成中的应用 1986年，Gedye等人首次将微波技术应用于有机合成； 1988年，Baghurst和Mingos等人首次用微波法进行无机化合物和超导陶瓷材料的合成，以及之后进行的有机金属化合物、配合物、嵌入化合物的合成。 1.1 微波加热和加速反应机理 微波加热原理：介质材料一般可分为极性材料和非极性材料。在微波电磁场作用下，极性分子从原来的热运动状态转向依照电磁场的方向交变而排列取向，产生类似摩擦热，在这一微观过程中交变电磁场的能量转化为介质内的热能，使介质温度出现宏观上的升高，这就是微波加热，即微波加热是介质材料自身损耗电磁场能量而发热。 金属材料 —— 电磁场不能透入内部而是被反射出来，所以金属材料不能吸收微波； 水 —— 吸收微波最好的介质，所以凡含水的物质必定吸收微波。 微波加热的特点 微波加热 常规加热 加热速度 使被加热物本身成为发热体，称之为内部加热方式，不需要热传导的过程，内外同时加热，因此能在短时间内达到加热效果 热量从被加热物外部传入内部，逐步使物体中心温度升高，加热速度慢。导热性较差的物体所需的时间更长 均匀性 物体各部位通常都能均匀渗透电磁波，产生热量，因此均匀性大大改善 存在温度梯度 能耗 微波能只被被加热物体吸收而生热，加热室内的空气与相应的