能谱仪的使用与维护.pptVIP

使用环境条件 电压：220V (100~230V)±10% 功率：800W 温度：+10?C ~ +35?C，最大温度变化 3?C/小时 (建议+27 ?C) 湿度：无结露条件下，相对湿度20% ~ 80% (建议30% ~ 60%) 海拔高度：0 ~ 3,100米（具体值受PC机条件限制，能谱仪可达5,000米） 避免以下任何物质的导入：绝热性的、腐蚀性的、研磨性的和其他有损害性的物质 扫描电镜的抽真空 在抽真空或放气时，应加大样品的工作距离以脱离交汇点，或将样品平移以脱离物镜极靴孔。以避免电子枪内的气流射流冲击探头窗口。 扫描电镜的放气 自然放气时，通过控制进气过滤阻力延长放气时间。一般放气时间应不少于2.5分钟。 管道或气瓶进气时，通过二级减压表控制进气压力。一般放气压力应不大于0.02 MPa (3 PSI \ 0.2mbar) 操作注意事项 对于使用CCD相机的SEM，打开能谱计算机电源时，注意先关闭SEM的CCD相机。 对于使用COLUMN和STAGE一体化控制软件的能谱仪，注意检查一体化数据是否更新。 对于场发射SEM，注意检查是否在EDX或分析模式下进行工作。 在变换SEM束流或更换灯丝后出现DT%异常增大时，注意调整SEM的电子束合轴。 液氮使用注意事项 在加注液氮时，注意防止或减少霜和冰晶进入探头杜瓦瓶。 CDU型探头在从室温加入液氮45分钟后，进行定量分析。 10升杜瓦瓶的标准探头在室温加入液氮2小时后，进行定量分析。 在液氮即将耗尽前，计数率与背底会出现异常升高，低能端噪音峰增强（探头热噪声）。 在长时期不使用能谱仪时，建议每隔1~2个月加一次液氮。 杜瓦瓶除湿 能谱仪经长期使用或在环境湿度较大的地区使用一段时间后，在杜瓦瓶的底部和侧壁会形成冰晶或冰壳，影响导热、分辨率变差，增大噪音，乃至无法工作。因此，杜瓦瓶应及时除冰去湿。方法有： 以干燥气源吹干。在有氮气源或压缩空气源的实验室，以略大于1个大气压的压力吹1~2小时，以去除杜瓦瓶内部的冰晶、水汽和液态水。 自然干燥。在环境干燥的实验室，敞口自然放置一周以上以除冰去湿。(以干燥的绸布吸去水分) 电吹风干燥。注意温度不宜过高。 重要的参数备份 在C:\cfg 或 C:\Edax Service\Backup cfg files 以及专为用户设定的文件价中，保存了一些与能谱仪工作参数相关的重要文件。 文件为： C:\Edax32\Sys\Dpp2.1.cfg (C:\Edax32\Sys\Edax32d1.cfg)， C:\Windows\System32\Drives\ep20000.cfg (C:\Edax32\Img\edi32s1.cfg) 在能谱仪工作出现混乱时，将相应的备份文件复制回相应的文件夹中（同名覆盖），即可恢复系统。 在计算机系统出现软故障时，对于Windows XP可采用系统恢复的方法。 能谱仪的使用与维护 能谱仪的使用与维护 能谱仪的使用与维护 能谱仪的使用与维护 能谱仪的使用与维护 能谱仪的使用与维护 能谱仪的使用与维护 能谱仪的使用与维护