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传感器原理与电路设计第7-8讲报告
第4章 电感式传感器 11.10.2015 * 第7讲 GMES 2008 目录 变磁阻式传感器 差动变压器式传感器 电涡流式传感器 制造装备与系统研究所 Group of Manufacturing Equipments and Systems 天津大学机械工程学院 School of Mechanical Engineering, TJU 前言 电感式传感器是建立在电磁感应基础上的,具体为利用被测量(位移、振动、压力、流量、比重)的变化引起线圈自感系数L或互感系数M的变化,从而导致线圈电感量改变这一物理现象来实现测量的。 根据转换原理的不同,电感式传感器可分为自感式(变磁阻式)和互感式(变压器式、涡流式)两大类。 1.工作原理 变磁阻式传感器 变磁阻式传感器由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料制成。 线圈 铁芯 衔铁 A1 A2 L1 W L2 δ ±Δδ 在铁芯和衔铁之间有气隙,传感器的运动部分与衔铁相连。当衔铁移动时,气隙厚度δ发生改变,引起磁路中磁阻变化,从而导致电感线圈的电感值变化,因此只要能测出这种电感量的变化,就能确定衔铁位移量的大小和方向。 1.工作原理 变磁阻式传感器 线圈中电感量可由式1确定: 根据磁路欧姆定律: L1、μ1、A1:铁芯中心线长度、磁导率、截面积 气隙很小,可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损, 则磁路总磁阻为式3 Ψ:线圈总磁链 I:线圈中电流 W:线圈的匝数 Φ:穿过线圈磁通 L2、μ2、A2:衔铁中心线长度、磁导率、截面积 δ、μ0、A0:气隙厚度、磁导率、截面积 式1 式2 式3 1.工作原理 变磁阻式传感器 通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻,即 式1 式2 式3 式4 式5 式6 式6表明:当线圈匝数为常数时,电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数,改变δ或A0均可导致电感变化,因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和变气隙面积A0的传感器。 目前使用最广泛的是变气隙厚度式电感传感器。 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 L与δ之间是非线性关系, 特性曲线如图 变隙式电感传感器的L-δ特性 1) 当衔铁处于初始位置时,电感量为: 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 变隙式电压传感器的L-δ特性 2) 当衔铁上移Δδ时,传感器气隙减小Δδ,即 δ=δ0-Δδ,电感量为: 当Δδ/δ01时,用泰勒级数展开 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 可求得电感增量ΔL的表达式,即 进而可求得相对增量ΔL/L0的表达式,即 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 变隙式电压传感器的L-δ特性 3) 当衔铁下移Δδ时,传感器气隙增大Δδ,即 δ=δ0+Δδ,电感量为: 当Δδ/δ01时,用泰勒级数展开 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 可求得电感增量ΔL的表达式,即 进而可求得相对增量ΔL/L0的表达式,即 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 衔铁上移电感增量ΔL和相对增量ΔL/L0的表达式 对ΔL/L0作线性处理,即忽略高次项后,可得 可见:变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾。 则灵敏度 衔铁下移电感增量ΔL和相对增量ΔL/L0的表达式 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 与 与线性度 4) 讨论: 无论上移或下移,非线性都将增大 上移灵敏度增大,下移灵敏度减小 因此,变隙式电感式传感器适用于测量微小位移的场合 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 5) 对策:为了减小非线性误差,实际测量中广泛采用差动变隙式电感传感器 两个相同的电感线圈和磁路组成,衔铁上下移动时,两个磁路的磁阻发生大小相同,方向相反的变化。 2.变气隙厚度式传感器输出特性 变磁阻式传感器 一个线圈电感量增加,另一个线圈电感量减小,形成差动结构 ,将两个线圈接入交流电桥的相邻桥臂,另两个桥臂由电阻组成。 线性处理忽略高次项可得灵敏度 结论: a. 灵敏度比单线圈提高1倍; b. 非线性项比单线圈高一阶。 3.变气隙厚度式传感器应用 变磁阻式传感器 当压力进入膜盒时,膜盒的顶端在压力P的作用下产生与压力P大小成正比的位移,于是衔铁也发生移动,从而使气隙发生变化,流过线圈的电流也发生相应的变化,电流表A的指示值就反映了被测压力的大小。 1.变隙电感式压力传感器结构图 3.变气隙厚度式传感器应用 变磁阻式传感器 当被测压力进入C形弹簧管时,C形弹簧管产生变形,其自由端发生位移,带动与其连接成一体的衔铁运动,使线圈1和线圈2中的电感发生大小相等、符号相反的变化。电感
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