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2、四相型 输出0,π/2,π , 3π/2四相信号;以LED为光源 中心对称的镜像读数头 (三)镜像式读数头 1、单块光栅成像式 本质上属于分光系统,但不用指示光栅,而用光栅像代替 * 第四章 莫尔测量技术 3-2 莫尔条纹形成原理 3-3 莫尔测量技术及应用 3-2-1 几何光学原理 3-2-2 衍射干涉原理 3-2-3 泰宝效应 3-2-4 频谱分析原理 3-1 概述 4-1 概述 4-2 莫尔条纹形成原理 一、 几何光学原理 (一)栅线遮光原理 (二)几何法 S为三角形ABC面积 (三)序数方程法 亮级序数 N=n-m (3) 上面三式联立可得莫尔条纹方程。 (1) (2) 即由 xn=xm, 将(1)(3)代入(2),得 (四)动态莫尔条纹法 假设G1平移 条纹位置随两栅之间相对位移变化 光栅移过一个节距P1,条纹移过一个周期W 替代(1)式,联立(2)(3) 在光栅式位移测量系统中可以通过测量条纹移动数目来确定光栅位移量。 光栅付放大率(光学增益) 102~103 可见光栅付通过形成莫尔条纹起到一个可调倍率光学放大器的作用,即莫尔条纹的光学放大作用。 莫尔法通过测量光栅付中一个光栅的节距或节距的变化量,来计算最终要测量的物理量。如实验应力测量(面积位移场和应变场分布) 二、衍射原理 光栅付的衍射 衍射光的干涉 衍射级系相同的光束出射方向基本相同 等效衍射级次(即两衍射级次绝对值之和)最低原则,级次低能量大 三、 泰伯效应(Talbot Effect,1836) 指周期性结构物(如光栅)在相干照明情况下的自成像现象 例如:当用单色平面波照明一个具有周期性透过率函数的图片时,发现在该透明片后的某些距离上出现该周期函数的像,这种不用透镜就可以对周期性物体成像的现象称泰伯效应或自成像。是一种衍射成像。 由菲涅尔衍射可以推导 (一)单色平面波照射 可以应用泰伯效应形成莫尔条纹,这样两光栅可以分开一定距离。 (二)单色球面波照射 四、傅立叶分析法 透射光栅的透过率为: 此情形x=0处与未平移时x=-s处相同 莫尔条纹的光强分布 若G1 与G2叠合,两栅间无间隙或间隙很小时,其透过率 若入射到光栅付G1 G2的光强为I0(x,y),出射光强为I(x-s,y), 取 令 莫尔条纹即两光栅叠合产生的拍(差)频成分,莫尔条纹的形状由基频决定,其他谐波成份只影响莫尔条纹的光强分布。 式中Fx、Fy为莫尔条纹在X、Y轴上的分量 一、莫尔条纹信号特点: 条纹把位移放大了1/θ 倍, 光栅信号与位移的对应关系 光栅付中任一光栅沿横向(垂直于线纹方向)移动一个栅距P,莫尔条纹就沿垂直方向移动一个条纹间距W,这是莫尔条纹测长度、角度位移的根据。 3-3 莫尔测量技术及应用 误差的平均效应 平均误差 光栅局部误差 视场中的光栅线数 信号波形的正弦性 共模漂移 反差 (用调制系数Kc、调制度Md或对比度C表示) 平均背景引起共模电压,光栅各处不同,光源本身漂移都将引起共模漂移。 1、分光读数头 2、直接接收式读数头 3、镜像读数头 4、反射光栅读数头 二、光栅读数头的组成、种类及计数原理 组成:光源、准直透镜、指示光栅、光电探测器等 根据光学系统分有夫琅和费系统和菲涅尔系统,根据结构特点和使用场合分: (一)分光读数头 1、单相型 (n=1) 2、多相型 为判向和补偿直流漂移通常产生两相或四相信号相位差(相位差π或π/2) 条形透镜:由球面透镜切割而成,宽度为莫尔条纹宽的1/2或1/4 四细分透镜读数头的工作原理 四细分透镜读数头 1-灯泡,2-聚光镜,3-长光栅,4-指示光栅,5-4聚光镜,6-狭缝,7-4光电二极管 光电转换与计数系统 接收器:光电二极管,光电三极管,硅光电池,硒光电池 四细分信号 cos sin -sin -cos 鉴零 微分 (二)直接接收式读数头 平行光束垂直入射主光栅,光电器件靠近指示光栅直接接收(光闸式)莫尔条纹。 1、单相型 *
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