研磨手法の確立に向けて-kusastro.kyoto.pptVIP

研磨関連報告　 （株）ナノオプトニクス?エナジー 高橋啓介 9/18 ＠京都大学 もくじ ?「やとい」つき研磨の流れ ?ナガセインテグレックス製研磨機の構造について ?予定 端の研磨不足領域 エッジ付近→軸の中心までしかパッドが行けない パッド半径程度の領域が盛り上がって残ってしまう エッジ付近の形状 滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく補正する方法は？ 前回の方針：やといの設置 エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうから セグメント パッドが落ちないようにする！ やとい 設置の方法、段差の問題等、課題はいくつかあるが、 研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性 GTC　segment by Sagem Sagem：フランスの会社。GTC (Gran Telescopio Canarias)を製作 パッドに対して非常に狭い領域にのみ、やとい設置→端ダレを防ぐ目的のみ？ SPIE proceeding より やといつき研磨の流れ １：やといのみで研削（上下辺、左右辺のセット） ２：セグメントの周囲に設置 　→レベリングブロックで高さ調整（段差5um以内目標） 　→ナガセ製剣山治具で高さ固定 　→ラテラル方向の固定はセグメントとほぼ同じ 　　　セグメントが干渉する場所はやとい底の溝で固定 ３：CGHで形状を確認しながら研磨 やとい R大側円弧×２、側面×２、R小側円