分析电子显微镜剖析.ppt

2.1表面复型技术 2.1.1一级复型 碳一级复型 塑料-碳二级复型 2.1.3抽取复型 抽取复型是对一级复型稍加改进的方法，它不仅能用复型显示样品表面浮凸而且可用膜抽取出某些细小的组成相，如某些第二相粒子，并保持它们在样品的原有分布，它的最大优点 是除了在电子透镜下观察这些粒子并且还能通过电子衍射确定其他相，目前常用碳蒸发膜。 制备方法： 2.2粉末样品和薄膜样品制备 2.2.1粉末样品的制备 制备方法： 2.2.2薄膜样品的制备 一.薄膜平面样品的制备 二.薄膜截面样品的制备 2.3块体样品制成薄膜的技术 2.3.1金属块制成薄膜样品 2.3.2无机非金属块体制成薄膜样品 一.离子减薄法 二.凹坑研磨法 三.解理法 2.3.3高分子块体制成薄膜样品 2.3.4聚焦离子束法 电解抛光法适用于金属材料，化学抛光减薄方法 适用于在化学试剂中能均匀减薄的单质材料，如Si，Ge ，氟化物等。对于多相的非金属材料，上述方法已不再 适用。而离子减薄特别适用于无机非金属材料。 陶瓷块体薄膜得制备方法是用专用切片机将块体样品割 成薄片，在经过减薄抛光等过程预减薄至30~40μm的薄 片，用超声波打孔机或其他方法把薄片钻取为2.5~3mm 的小片，将小片装入减薄仪和离子抛光。 材料的机械凹坑研磨自20世纪70年代已经开始用于 减薄材料直至对电子束透射或接近透明，凹坑研磨 基于研磨切割和研磨抛光同样