半导体厂务系统事故[精选].docVIP

半导体厂务系统事故及经验教训征集，有金币奖励！ 发表时间: 2007-3-31 08:31 ?? 作者: hhnec ?? 来源: 半导体技术天地 字体: 小 中 大 | 打印 半导体厂务系统相关的事故及经验教训征集，根据精彩与详尽程度有不等的金币奖励！说明：每个FAB、每个做厂务的engineer都会碰到各种各样、大大小小的事故，以及由此产生许多的经验教训供他人借鉴。作为各位专业人士互相之间的业务交流，请大家说出你碰到过的各类事故（也可以是你听说的其他FAB发生的真实事件）。要求说明时间、地点、发生情况以及对策、相关的经验教训等。前车之鉴、他山之石，与人共享，善莫大焉！ 我也来说两句 查看全部评论 相关评论 kitgain (2007-3-31 11:33:59) 版主大人的宝贴怎么不回呢？俺抢沙发先。某fab发生的真实案例，猴年马月子时亥分，厂务特气小组highlight Kr/F2/He消耗太快，整个fab只有一种设备使用这种鸟气体－－呵呵，卖个关子先。追查发现一周以前新进的这台设备刚做完hookup，即QC验收通过，现场一切正常，但源头既然在这里，还是要查。事故现状：该特气消耗量增大到平时2倍，而整个工厂、设备正常运转；源头分析：就是这台设备了。特气组开始彻查整套管路，从厂务GC到VMB到设备端，一边询问EE了解状况;EE初闻此信息，惊骇莫名 ，F2泄漏，还了得，但设备这边一切看起来正常，也帮不上什么忙。特气组累死累活每端管路（即有接头的2端管路）做he leak,保压测试，最后查到VMB到laser端，这里开始是EE的范围了。这时发现测试不过，laser接口端漏气！！！ 继续打开接口端，发现小小的mouse tip微微扭曲变形一点点，毒气就是从这么一点点的罅缝，越过swage lock而泄漏！ 追究原因，在于该mouse tip的问题，特气施工商一口咬定是EE的问题，原因是当时恰恰特气施工商在施工这段管路时，mouse tip用完了。而随laser来的mouse tip又有很多，因此监督施工的EE马上把laser自带的mouse tip好意给特气施工商。laser供应商不愿承担责任，声称laser端也做过2天标准测试，即抽真空，看真空度来判断该接口管路是否ok，结果是通过的。继续分析mouse tip为什么变形，特气供应商宣称他们使用自带的国产品，质硬。随机台一起来的mouse tip圆环宽度更小，质脆。即月亮不是西方的圆。特气施工商根据平时惯例，施加较大的力气拧固swage lock，于是mouse tip开始变形，而最初的几天，该变形可能并不明显，以致于laser供应商未检查到任何异常。EE“咬”厂务，laser端0.5米附近就有2个detector，工厂到处装的也有，为什么全厂毒气报警系统不报警，已泄漏一周了，想毒死俺呀！厂务被追的没法，才透漏惊天内幕，detector买的过于灵敏，经常误报，以致于后来把阈值跳到1％。而F2在混合气中的比例恰恰也是1％，泄漏到空气中马上就被稀释，detector怎么会报警呢？可怜MFG如花似玉的PPMM，一直被蒙在鼓里。 万幸，该泄露端正好在laser的保护设计中，周围就有真空排放到GEX。再加上F2化学性质太活泼，就是泄漏，也会马上与周围物质发生反应，再剩下的也被GEX抽走了。公司对此次事故的处理结果不得而知，但厂务特气组确实发挥了他们很重要的作用，通过monitor特气消耗量的异常变大，而认真调查，排除了一个重要隐患，值得学习。强烈各位看官大人送些金币，小弟已入不熬出多时， 都没力气发帖啦～～[ 本帖最后由 kitgain 于 2007-3-31 11:38 编辑 ] dingweiyang (2007-3-31 22:15:08) kitgain的话让我想起了一些业主和厂商之间的事我是厂商的,我碰到过无数次业主,主要是厂务负责会勘的工程师说点出错的事,比如把接点位置搞错,接点类型搞错,甚至还有需求颠倒什么的,遇到的太多了,前几天遇上了个把Sol.Exhaust改成Gen.Exhaust的.....这是厂务工程与设备沟通出现了问题,追究起来常常拿厂商当炮灰,不要这样了,kitgain说的这特气问题我个人觉得大家都有责任,厂商测试,设备提供商都有问题,幸亏没出现台湾茂德那样的惨事,作为一个厂商,我觉得该卖人情的地方可以站在本方利益安全的立场上使劲买,比如什么bulk gas什么的,特气出了事才查,你们这多少有点玩忽职守 genesun (2007-4-01 13:29:10) HHNEC斑竹还真快啊 先简单写一下:以前我们公司在纯水再生的时候,供应HCL的泵管路爆裂,造成地下一层机房发生严重HCL泄露, 整个机房弥漫的都是