多弧离子镀设备阴极电弧蒸发源工作稳定性的研究[精选].docVIP

一 引言 多弧离子镀设备中阴极电弧蒸发源(靶)的真空电弧放电共工作电流一般为60～ 100A或更高些， 工作电压约20V， 电弧电流集中在靶面的阴极弧斑上， 斑点面积很小， 电流密度很高。在无外加磁场的情况下， 阴极孤斑在靶面上的运动是无规则的，其颠簸运动速度达每秒几米， 由于这种无规则的运动， 若斑点移到蒸发面以外， 可能导致灭弧、损坏装置及污染膜层。如何使蒸发源稳定工作，提高蒸发源的工作性能，对提高设备的整机水平，提高膜层质量极为重要。二 多弧靶真空电弧稳定性的影响因素 对多弧靶真空电弧的稳定性问题， 许多科技工作者已避行了大量的试验研究工作-发表过许多论文，提出了一些提高电弧燃烧稳定性办法。L.P.Sablev曾提出采用间隙屏蔽和采用一些反馈机构来提高电弧的稳定性；H.Wroe建议采用磁场限制阴极弧斑的运动；C.F.Morrison.Jr则利用限弧环限制弧斑移离蒸发表面的办法来维持电弧的正常燃烧。通过大量的实验研究发现， 多弧靶电弧放电的稳定性与许多因素有关。影响效果最显著的是磁场对电弧燃烧稳定性的影响； 同时阴极表面的清洁程度、阴极靶面的几何尺寸、几何形状及表面状态、阴极靶面的表面温度、电弧电流的大小、真空室内真空度及环境气氛种类等对多弧靶电弧燃烧的稳定性都有不同程度的影响。三、实验现象及分析 1． 磁场对多弧靶电弧燃烧稳定性的影响多弧离子镀设备靶源的真空电弧放电是以场致发射为主， 热电子发射为辅。场致发射所需的强电场是靠靶面前的空间电荷产生的， 这种真空电弧放电具有相当高的离化率， 一般离化率为60％ ～90％ ， 在真空室内特别是靶面附近基本上是完全的等离子体。由于磁场对带电粒子的运动具有很大的影响，从而真空电弧受磁场的控制。无外加磁场情况下， 阴极弧斑为堆团状，且在靶面上无规则运动，这时电弧燃烧极不稳定， 时常灭弧， 靶面刻蚀极为粗糙。在靶面附近加一非轴对称磁场且磁力线平行于靶面的情况下电弧放电的弧斑形貌， 这种情况下弧斑亦为堆团状， 其运动是沿一个方向(与磁场方向有关)， 最后停留于靶面外沿一点至到灭弧。当靶面处加一相对千靶面轴对称的磁场时， 堆团状弧斑消失， 弧班在靶面上绕靶轴心作旋转运动，形成几条微细的弧环。这种情况下的放电稳定性较好。在阴极靶面上， 弧斑位置受磁场控制， 靶面处电弧燃烧比较稳定的地方也就是磁场最强的地方。在无外加磁场的情况下， 阴极电弧为堆团状。产生这种堆团状弧斑的原因有二点：其一是电弧本身产生的自磁压缩， 类似于两根平行导线通过同向电流一样， 相互作用力互相吸引。其二是由于弧斑的集中， 使弧斑下的阴极靶面温度极高， 产生大量的热电子发射， 导致弧斑的再集中。这种情况下的弧斑造成靶面的局部熔化，大量蒸发，甚至产生金属液滴的飞溅， 靶面产生大量的弧坑， 同时影响膜层质量。这种无规则运动的弧斑很容易移到非蒸发面造成电弧的熄灭。当靶面附近加一平行靶面的磁场时在磁场作用下带电粒子只受到一个方向力的作用， 导致弧斑沿一个方向运动且迅速停留在靶边沿一点， 最后熄灭。靶面附近加一轴对称磁场的情况就不同了，由于这时磁场既有轴向分量，又有径向分量， 靶面附近的带电粒子(从靶面蒸发出来及被电离的)一般其初速度方向与靶面垂直，在磁场径向分量的作用下及粒子间的相互碰撞， 使带电粒子产生径向和周向运动，这样增加了带电粒子在空间的运动路程， 使其有更多的碰撞、电离机会， 同时也改变了空间电荷在靶面前的分布， 使其按磁场分布而分布， 前两种情况下的堆团状弧斑分散成均匀的环状弧斑。另一方面，弧电流的周向分量与磁场的径向分量作用形成稳弧力。结果使堆积靶面前的空间电荷更加接近靶面，形成强大电场，维持电弧的正常燃烧。磁场设置的是否合理，直接影响到多弧靶工作的特性。不仅如此， 磁场还可以提高阴极与阳极间的电势， 使从阴极靶源释放出的原子数目和粒子束通量密度增加，从而导致靶源沉积率增加， 同时磁场还能改善靶源产生的离子束的方向。2． 阴极表面污染对皂弧燃烧稳定性的影响我们曾对冷阴极电弧作过这样的试验， 在相同的放电条件下(如相同的工作气氛， 相同的真空度，相同的引弧电压等)，表面很清洁的阴极(如已经过燃烧后的阴极)阴弧时比较困难， 而表面有污染的阴极(如表面涂有污物的阴极)引弧却很容易。显然阴极表面有污染时容易产生表面的电子发射。一般污物本身含有多种成分， 某些元素很容易发射电子， 另一方面受污染的阴极表面其电子的逸出功降低也比较容易产生电子发射。多弧设备的阴极靶源(特别是新靶)其表面通常含有初始污染(如吸附氧等)， 由于氧可发射大量的电子， 初始电弧更容易发生在有污染的地方， 直到表面污染被蒸发完毕才开始正常的靶材蒸发。所以在靶源的装配过程中，应保证在清洁的状态下进行，