材料表面工程第十二章[精选].pptVIP

第十二章 高能束表面改性 12-1 概述 采用激光束、离子束、电子束这三类高能束流对材料表面进行改性或合金化的技术，是近十几年来迅速发展起来的材料表面新技术，是材料科学的最新领域之一。 用三束流对材料表面进行改性的技术主要包括两个方面： （1）利用脉冲激光器可获得极高的加热和冷却速度，从 而可制成微晶、非晶及其它一些奇特的、热平衡相图上不 存在的亚稳合金，从而赋予材料表面以特殊的性能。 （2）利用离子注人技术可把异类原子直接引入表面层中 进行表面合金化，引入的原子种类和数量不受任何常规合 金化热力学条件的限制。 激光束、电子束、离子束表面改性技术不仅可用于提高机 件表面的抗蚀性和耐磨性，还可用于半导体技术和催化剂 技术。 在半导体材料中，各种电性能通常是由材料的最外层微米 数量级厚的成分和结构控制的。 激光透人金属的深度，仅为表面下10?5cm的范围。所 以激光对金属的加热，可以看做是一种表面热源，在表面 层光能变为热能，此后热能按一般的传导规律向金属深处 传导。 3) 变形小： 由于加热层薄，加热速率快，即使很复杂的零件，变形也非常小。 4) 表层显微组织：加热时间短，碳原子的扩散及晶粒的长大受到限制，得到的奥氏体晶粒小而不均匀。冷却速率快，易得到隐针或细针马氏体组织。 激光退火可防止半导体晶片的扩散杂质的再分布，合金化 效率高，可获得高浓度电荷载流子，使电荷活性提高5～7 倍。 激光退火在室温下就可进行，又不损害半导体的性能，因 而在微型半导体器件工业中得到了广泛应用。 5．激光冲击硬化 以 107 W/mm2 以上的高功率密度的脉冲激光照射金 属表面，使表面金属剧烈气化，形成的冲击波反作用于表 面使表面硬化。 冲击波的力量可达104 MPa，从而使表面产生强烈的塑 性变形，增加位错的密度，提高材料的强度及疲劳寿命。 主要目的： ① 利用快速加热和快速冷却制造特殊的亚稳合金，赋予 机件表面以特殊的性能； ② 制成理想的表面合金。 图13-11 是预沉积法激光表面合金化的示意图，基体材料为B，表面 膜为A。其中d 表示光斑尺寸；R0表示材料对激光的反射率。 利用激光对金属和半导体的表面进行改性，通过调整各种参 数可获得各种平衡态下得不到的奇特合金，从而使机件获得 各种奇特的表面性能。 钢中加入 Cr，Ni，Mo 等贵重元素通常不是为了提高整 体强度，而是为了防止环境对表面的损伤，此时采用表面 合金化可使成本大大降低。 例如，用 70％Cr-30％Ni 的金属粉末对一般碳钢进行激 光表面合金化，表面可获得29Cr-13Ni 的合金，该合金 在1 mol/L H2SO4 中的极化曲线与18-8不锈钢的极化 曲线相似，有几乎一样的钝化能力，即具有相同的抗蚀 性。 激光表面合金化另外一个应用领域是制作硅上面的金属触 点，以形成欧姆式或Schottky式电触点。 例如，用Nd-YAG激光辐照，把Pt，Pd，Ni膜合金化到 Si中，试样表面被熔化并在横向产生非常均匀的合金层。 2 ． 表面激光熔覆 激光表面熔覆是在金属基体表面上预涂一层金属、合金或陶 瓷粉末，在进行激光重熔时，控制能量输入参数，使添加层 熔化并使基体表面层微熔，从而得到一外加的熔覆层。 激光表面熔覆与表面合金化的不同在于母材微熔而添加物全 熔，这样一来避免了熔化基体对添加层的稀释，可获得具有 原来特性和功能的强化层。 12-3 离子束技术 离子注入是核科学技术在材料工业方面的应用技术，其基本 工艺是将几万到几十万电子伏的高能离子流注入到固体材料 表面，从而使材料表面的物理、化学或机械性能发生变化， 达到表面改质的目的。 离子注入技术首先应用于半导体材料。该技术使大规模集成 电路的研究和生产获得了极大的成功。二十世纪70年代以 后才开始用于金属材料的表面改质。 12-3-2 离子注入改性的一般机理 离子注入金属后能显著地提高其表面硬度、耐磨性、抗蚀 性等。 基本改性机理如下： 1．损伤强化作用 具有高能量的离子注入金属表面后，将和基体金属离 子发生碰撞，从而使晶格大量损伤。严重的辐射损伤可使 金属表面原子构造从长程有序变为短程有序；甚至形成非 晶态，使性能发生大幅度改变。所产生的大量空位在注入 热效应作用下会集结在位错周围，对位错产生钉扎作用而 把该区强化。 对于离子注入技术，目前研究的两个主要突破方向是： (1)把离子注入作为改进材料的力学或化学性能的有效手段； (2) 把离子注入作为冶金手段来研究液态介质腐蚀、高温氧化及溶质捕获等基本机制。 (4) 离子注入控制电参量，易于精确控制注入离子的浓度分布。 (5) 离