色散模式拟合问题解析.ppt

色散模式拟合问题 概要 色散模式的分类说明 色散模型的建立使用 色散模式分类 包括 Cauchy模型 Cauchy指数模型 Sellmeier模型 Lorentz 振子模型 Kramers-Kronig关系 Forouhi-Bloomer模型 EMA有效介质模型 Cauchy模型 对于大多数透明或弱吸收薄膜，采用Cauchy模型能得到较好的拟合结果，如SiO2、Al2O3、SiN等。这一模型关系表示为： Cauchy指数模型 与Cauchy模型不同的是其吸收系数随频率指数变化，适用于碱土金属的氟化物、氧化物和半导体（Si，GaAs）等，表示式为： 式中， 是振幅， 是指数， 是吸收带边 Sellmeier模型 很多光学材料的折射率由Sellmeier公式来描述，其表达式为 Lorentz 振子模型 按照洛伦兹的色散理论，色散现象可以解释为介质中带电粒子在光波电场作用下做受迫振动时产生的一种效应，亦即色散现象的实质是光波电磁场与介质分子作用的结果。认为固体的介电函数可以用一定数量的Lorentz振子的和近似表示，称为简谐振子近似。其形式为： 式中， 为第j个振子的振幅， 为相应振子的特征能量， 为由弛豫引起的相应振子的线宽参数（与振子的阻力有关）。该模型适用于晶态非导体材料，通常只需3个振子就可以描述材料的介电常数。 Kramers-Kronig关系 Kramers-Kronig关系是由复变函数 的性质得到的普遍规律，对于复折射率，也可以用Kramers-Kronig变换的频率积分将吸收系数和折射率联系起来，即对实部（虚部）在整个光谱范围内的积分得到虚部（实部）。其表达式为： Forouhi-Bloomer模型 Forouhi-Bloomer通过量子力学处理并结合K-K关系推导出五参数模型，其表示式为： 式中， 为无穷大能量时介质的折射率（电子跃迁的贡献）， 为带隙能量，A、B、C为正常数。Forouhi-Bloomer模型适用于非晶半导体材料的分析。 EMA有效介质模型 有效介质模型应用于两种或两种以上的不同组份合成的混合介质体系，在拟合时，有效介质模型通常用于薄膜的粗糙表面和过渡层分析。 对两种材料组成的复合材料，其介电系数的统一公式为： 其中， 是有效介电常数； 和 分别为两种混合介质的介电常数； 是含有掺杂物的介质的介电常数； 是材料2的体积百分比； 是材 料2的有效偏振系数，通常L=1/3 EMA模型 包括 Bruggemen EMA Maxwell-Garnett Method Lorentz-Lorentz EMA Landau-Lifshitz/Looyenga EMA Monecke Model Differential Effective Medium Bruggemen EMA 相对总公式，取 ，即材料1，2性质相同并相互接触作用，每种材料与基体介质材料也相互接触作用。复合后其介电系数的关系为： Maxwell-Garnett Method 相对总公式，取 ，即我们假设材料2包含在材料1内，其复合公式为： 解为： Lorentz-Lorentz EMA 其复合材料有效公式为（相对总公式，取 ）： 则其解为： 2组分最常用的是Maxwell-Garnett EMA 和 Bruggeman EMA 3组分经常用的是Lorentz-Lorentz EMA 色散模型的建立使用 _Cauchy 大多数的透明薄膜采用Cauchy色散关系来进行拟合 通常在使用Cauchy模型拟合中，拟合光谱范围内，n、k随着波长的增加而单调下降 色散模型的建立使用_Cauchy 当材料在拟合的光谱范围内不存在较强色散时，A、B、C等系数之间存在关联 如拟合出的B或（和）C为负数，拟合的n可能会随波长的增加而增加 (这可能是因为数据对折射率系数不敏感，或者是所应用模型不正确) 如果拟合出的B或C为负数，结果也可能是单调下降的 在拟合过程中需要对拟合出的参数和结果进行判断 色散模型的建立使用_Cauchy 有些电介质材料的折射率曲线在紫外区域出现“反弯”，说明“反弯”发生的波长处，材料存在吸收边 拟合时 将拟合波长范围减小， 不拟合紫外部分波段； 或可以在Cauchy层中加入吸收， 即可采用