双探针法测量直流辉光放电等离子体参数.docVIP

双探针法测量直流辉光放电等离子体参数 刘浏 06300720361 【摘要】郎缪尔探针在测量低气压辉光离子体中被广泛应用。本文就双探针法测等离子体参数的原理、现象以及结论进行了探讨。分析了本组的实验结果，求出了不同条件下辉光放电等离子体中的电子温度，分析了功率和气压对电子温度的影响，并就结果中的一些与不理想的部分做出了解释。 【关键词】等离子体 参数 辉光放电 双探针法 电子温度 引言 电流通过气体的现象称为气体放电。 从日常生活中的日光灯管、电闪雷鸣，到工业生产中广泛使用的溅射镀膜、离子镀膜、离子轰击等，都与气体放电有关。 具有一定能量的电子与中性原子发生非弹性碰撞时，电子把一部分动能传给原子，使该原子激发或电离，即 e-+G0→G*+e- e-+G0→G++2e- 激发原子G*会产生特定颜色的辉光；产生的气体离子G+ 成为等离子体的一部分。 等离子体（plasma）是指电离度大于1％的电离介质是和固、液、气同一层次的物质存在形式。 阴极区 包括阴极，Aston暗区，阴极辉区和克洛克斯暗区。 负辉区 整个放电管中最亮的区域。其中电场相当低。几乎全部电流由电子运载，电子在阴极区被加速产生电离，在负辉光区产生强爆发。 法拉第暗区 在这个区域里，由于在负辉光区里的电离和激发作用，电子能量很低。净空间电荷很低，轴向电场也很小。 正柱区 正柱区是准中性的，电场很小，一般是1v/