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等离子体放电原理与焊接——不锈钢表面镀膜烙铁钎焊实验 姓名********* 学号********* 一、实验目的 学习本课程的教学目的在于培养学生： 1、了解多弧放电技术的应用及优缺点； 2、熟悉真空离子镀膜专用设备、设备构造原理及使用方法。 3、感悟学科的交叉，学以致用。 二、实验装置及实验材料 2.1 实验装置 （1）DHJ-800型多功能等离子体处理平台机 （2）超声清洗机 （3）复合高功率脉冲电源和阴极弧电源 （4）电烙铁 2.2 实验材料 304不锈钢、Cu靶、焊锡、铜导线、芯片等实验用品 三、实验原理 以在不锈钢试片与电子元件引脚或Cu导线直接钎焊前，选择与钎料存在反应的元素在母材表面进行沉积前处理，处理后的母材表面钎料的润湿铺展， 四、实验方法与实验步骤 4.1 实验方法 （1）不锈钢表面氩离子溅射清洗 （2）不锈钢表面沉积Cu薄膜 （3）不锈钢直接焊接与不朽钢镀铜烙铁钎焊的比较 4.2 镀膜实验步骤 如下表所示： 处理过程 预定参数 超声清洗 丙酮清洗：3min 酒精清洗：3min 真空建立 本底真空：1.0×10-2 Pa Ar离子溅射清洗 Ar流量：30 sccm 气压：******* Pa 工件偏压：*******V 时间：*******min Cu薄膜制备 Ar流量：X Sccm 工作气压：*******Pa 工件偏压：******V 阴极弧电流：*******A 时间：*******min 烙铁钎焊 五、试验结果 （1）试验设备照片：**** （2）试片照片：****** （3）焊接后试片照片：****** （4）实验结论和体会：****** （5）可以发挥：****** 注： 把*******部分补充完整 触发器，是个引弧针，是接触引弧。接触后，拿开，电弧形成。类似于我们焊接的接触引弧。在真空中金属在电弧的加热下熔化蒸发，蒸发的原子在电场作用下离化，形成等离子体。工件上施加负偏压，离子被吸引到工件上，形成膜层。膜层的种类依赖于靶材。膜层质量决定于等离子体密度、工件偏压、真空度、真空室温度以及阴极弧放电的大颗粒杂志等等。当靶材为活性靶材（如Ti、Al、Cr、Zr等），而气体为反应气体（如N2，O2，CH4等）时，就会形成TiN、AlN、TiO2、AlTiN等等。这些陶瓷性材料具有耐磨、防腐、耐高温等一系列优异性能，用于刀具、模具、齿轮、轴承等等。 图1:装置示意图 图2 磁控溅射 图3 电弧放电状态 图4 Cu靶材 图5 Cr 靶材 多弧电源