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DL10型真空计说明书.doc
DL-10型真空计说明书
概述
DL-10型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽,精度较高。该真空计由规管与控制单元组成,控制单元的数码管显示压强值。
技术要求
测量范围:10-105Pa
电源:交流220V,50Hz
功率:7W
几箱尺寸:200×90×160mm(宽×高×深)
原理
DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的特性做的真空计。石英晶振装在铝壳中做成规管,管径为15.5mm,可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电路如图1所示:
图1 谐振阻抗测量电路
谐振阻抗Z=
VAB为晶振两端电压
I 为流过晶振的电流
电流I流过与晶振串联的电阻R,在电阻两端的电压为VBD
∴ I =
Z=R
VAB 近似等于AC两端电压V0,VBD近似等于DC两端电压V1,由测量的V0,V1值及电阻值,可以计算出阻抗。单片机将阻抗转换成压强,由数码管显示压强值。
DL-10真空计的安装
DL-10真空计的安装如图2所示:
控制单元
图2 DL-10 的安装
石英晶振及振荡电路放在探头内,引线电缆通过5芯插头插入控制单元后面板的插座内,探头Φ15.5直径的管道插入真空系统。电源电缆一头插入控制单元后面板插座,另一端插入电源插座。电源插座应含接地线,使控制单元机箱接地。打开电源开关,控制单元数码管显示压
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