脉冲激光沉积技术[精选].ppt

激光脉冲沉积 脉冲激光沉积的实验仪器图 1960年，激光的示范首次出现。自此以后，激光受到多方面应用，发展成為强效的工具。激光对物料加工的帮助，效果尤其显着。激光具备许多独特的性质，例如狭窄的频率带宽、相干性、以及高释能密度。通常，光束的强度足以汽化最坚硬与最耐热的物料。再加上激光精确、可靠、具备良好的空间分辨能力。这些出色表现，所以得到机製薄膜、物料改造、物料表面加热处理、熔接，及微型图案等工业广泛使用。除此之外，多组分物质能够溶化，并沉积在底物上，形成化学计量薄膜。 脉冲激光沉积法 总的来说，的概念简单易懂。脉冲激光束聚焦在固体靶的表面上。固体表面大量吸收电磁辐射导致靶物质快速蒸发。蒸发的物质由容易逃出与电离的核素组成。若果溶化作用在真空之下进行，核素本身会即时在靶表面上形成光亮的等离子羽状物。下图展示了一些过程中產生的典型等离子羽状物。 PLD的机制 的系统设备简单，相反，它的原理却是非常复杂的物理现象。它涉及高能量脉衝辐射衝击固体靶时，激光与物质之间的所有物理相互作用，亦包括等离子羽状物的形成，其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移，及最后的膜生成过程。所以，一般可以分為以下四个阶段： 1. 激光辐射与靶的相互作用 2. 熔化物质的动态 3. 熔化物质在基片的沉积 4. 薄膜在基片表面的成核与生成 激光辐射与靶的相互作用 在第一阶段，激光束聚焦在靶的表面。达到足够的高能量通量与短脉衝宽度时，靶表面的一切元素会快速受热，到达蒸发温度。物质会从靶中分离出来，而蒸发出来的物质的成分与靶的化学计量相同。物质的瞬时溶化率大大取决於激光照射到靶上的流量。熔化机制涉及许多复杂的物理现象，例如碰撞、热，与电子的激发、层离，以及流体力学。 熔化物质的动态 在第二阶段，根据气体动力学定律，发射出来的物质有移向基片的倾向，并出现向前散射峰化现象。空间厚度随函数cosnθ而变化，而n1。激光光斑的面积与等离子的温度，对沉积膜是否均匀有重要的影响。靶与基片的距离是另一个因素，支配熔化物质的角度范围。亦发现，将一块障板放近基片会缩小角度范围。 第三阶段是决定薄膜质量的关键。放射出的高能核素碰击基片表面，可能对基片造成各种破坏。下图表明了相互作用的机制。高能核素溅射表面的部分原子，而在入射流与受溅射原子之间，建立了一个碰撞区。膜在这个热能区（碰撞区）形成后立即生成，这个区域正好成為凝结粒子的最佳场所。只要凝结率比受溅射粒子的释放率高，热平衡状况便能够快速达到，由於熔化粒子流减弱，膜便能在基片表面生成。 PLD法制备薄膜实验流程图 * 化学气相沉积 溶胶凝胶法 脉冲激光沉积 薄膜制备方法 直流溅射 超声喷雾热解 分子束外延 脉冲激光沉积法 是一种真空物理沉积工艺，是将高功率脉冲激光聚焦于靶材表面，使其产生高温及烧蚀，而产生高温高压等离子体，等离子体定向局域膨胀发射并在衬底上沉积形成薄膜。 1. 激光与靶材相互作用产生等离子体 等离子体是由大量自由电子和离子及少量未电离的气体分子和原子组成，且在整体上表现为近似于电中性的电离气体。 等离子体=自由电子+带正电的离子+未电离原子或分子，为物质的第四态。 2.等离子体在空间的输运 靶材表面的高温(可达20000K)和高密度((1016-----1021)/cm3)的等离子体 在靶面法线方向的高温和压力梯度 等温膨胀发射(激光作用时)和绝热膨胀发射(激光终止后) 轴向约束性 沿靶面法线方向 等离子体区 等离子体羽辉 脉冲激光沉积的优点 可以生长和靶材成分一致的多元化合物薄膜 灵活的换靶装置便于实现多层膜及超晶格膜的生长 易于在较低温度下原位生长取向一致的织构膜和外延单晶膜 由于激光的能量高，可以沉积难熔薄膜 生长过程中可以原位引入多种气体，提高薄膜的质量 污染小 薄膜存在表面颗粒问题 很难进行大面积薄膜的均匀沉积 基片靶材旋转法 激光束运动 缺点 新方法：激光分子束外延 PLD中的重要实验参数 基体的加热温度 影响沉积速率和薄膜的质量 氧气的压力 沉积时间 过高不利于薄膜择优取向的形成 过低导致化学配比失衡，内部缺陷增多 基体与靶的距离 激光能量，频率 影响薄膜的厚度 影响薄膜的均匀性 影响沉积速率 调整激光器参数 安装靶材与衬底 抽真空（机械泵与分子泵至10-5Pa） 开加热装置，通气体 导入激光进行镀膜 关闭仪器 激光器为YAG固体激光器，波长　　＝532nm(绿光）,激光脉宽为10ns,频率为1Hz,3Hz,5Hz.能量为0----300mJ可调． C 激光蒸发镀膜(laser ablation)装置 使用高功率的激光束作为能量进行薄膜的蒸发沉积的方法叫激光沉积法。显然，这种方法也具有加热温度高、可避免坩埚污染、材料的蒸发速率