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高精度光学自动检测仪快速对焦方法研究 程良伦 潘健华 (广东工业大学 自动化学院,广东 广州 510006) 摘 要：为提高光学自动检测设备中自动对焦的准确性、快速性和稳定性，提出一种新型的高精度快速自动对焦。该系统利用光学三角法测距原理将会聚到工作台上的激光光斑成像在CCD上，再利用光斑灰阶的变化实现精密对焦。实验结果表面：重复对焦精度可以到0.1um，对焦时间小于200ms，满足工业光学检测系统中实际应用的需要。 optical auto-analyzer CHENG Liang-Lun PAN Jian-Hua (Faculty of Automation, Guangdong University of Technology, Guangzhou Guangdong 510006, China) Abstract: To improve the AF accuracy, speed and stability of optical auto-analyzer, a novel fast high precision AF technology is proposed. Laser beam was condensed to the working table and then the image of laser pattern is formed at the CCD based on Laser Trigonometry. So the change of gray spot can be used to focusing. Experiment results demonstrate repeat Resolution can reach 0.1um, focus time is less than 200ms, and meets practical application requirements in the industrial optical inspection systems. Key words: auto-focus; trigonometry; transparency; optical analysis 引言 目前国内外生产的平板显示屏检测设备，都广泛采用数字图像检测技术，随着平板检测对精度和速度的要求越来越高，自动调焦技术的应用显得越来越重要，的自动对焦方法主要有：1)2)对比度法，用摄像头检测物体的像，利用正焦时对比度最大，离焦时对比度减小的判别方法实现调焦。 (1) 物镜焦距为f1，聚焦镜焦距为f2，CCD位于聚焦镜焦点的镜像位置，激光在被检测物体的表面发生反射，反射光线重新回到光路中。系统通过建立离焦量z与CCD检查到的半圆的半径Rx之间的数学关系：如图1，在离焦量为z时，对于物镜运用式(1)可知： (2) 对于聚焦镜运用式(1)可知： (3) R与z (4) 建立R与Rx (5) 由式(2)，式(3)，式(4)，式(5)可推导出 (6) f1为物镜的焦距，f2为聚焦镜的焦距，tan(为物镜定值。 假设可见光获得最清晰的图像时，激光刚好在被检测物体表面聚焦，由式(6)可知，如果系统发生离焦，CCD检测到一个半圆的光斑，其中离焦量和光斑的直径大小成线性关系。系统上离焦时z0，则Rx0，产生上半圆；当下离焦时在z0，则Rx0，产生下半圆，如图2所示。系统的聚焦原理是通过检测投射到CCD传感器形成一个半圆状的光斑，系统通过检测的是上半圆还是下半圆可以辨别对焦系统处于上离焦还是下离焦。根据三角测距光学原理分析出半圆的质心到半圆圆心的距离与系统物镜在被检测物体表面的离焦量数学关系。在数学分析下确定系统离焦方向和离焦距离，通过信号输出控制电机的快速转动到目标位置，从而实现系统对焦。 光学三角法对焦性能分析 Rx越大，即光斑的面积也越大，离焦量z与光斑半径之Rx成线性正比关系。由图1可知，被检测物体表面距离物镜的位置有三种情况，上离焦，聚焦面和下离焦，在上离焦时CCD得到右半圆的光斑，下离焦时CCD得到左半圆的光斑，在聚焦面时光斑变成一个亮点，所以我们可以通过计算光斑的面积确定此时的位置就是正好对焦的位置。仿真分析，光斑图像与对焦目标位置变化的关系如图3所示： 图3(a) 上离焦光斑图像 Fig.3(a) Spot images on the up defocus 图3(b) 下离焦光斑图像 Fig.3(b) Spot images on the down defocus 图3(a)所示为被测物体在焦平面上方时CCD采集到的光斑的图像，图3(b)为被测物体在焦平面下方时CC