超微量分析之污染控制[精选].docVIP

超微量元素分析之污染控制 郭季華 行政院環境保護署環境檢驗所 摘 要 背景當量濃度（Background equivalent concentration, BEC）是以當量濃度表示之背景訊號，並提供一種良好量化”雜訊”的方法，其已經廣泛應用於半導體業及超純化學工業之分析，且認為是評估ICP-MS系統效能較為精確之指標。BEC的來源最主要來自空氣污染、試劑污染及實驗器皿的污染及人員污染，本研究針對這四大污染來源進行探討，瞭解其對待測物之影響範圍及影響程度。 關鍵字：BEC、感應耦合電漿質譜儀、超微量分析、重金屬 一、前言 感應耦合電漿質譜儀（ICP-MS）為超微量元素分析常用之檢測儀器，此技術可提供實驗室一相對簡單及具成本效益之方法，來定量濃度低至ppt 甚至sub-ppt 等級之元素。 然而對許多元素，欲達到如此低濃度之定量會有許多障礙，例如微量的背景”雜訊”（noise）即會造成影響。對於”雜訊”的度量，背景當量濃度（Background equivalent concentration, BEC）是一種有用的方式。簡而言之，BEC是以當量濃度表示之背景訊號，並提供一種良好量化”雜訊”的方法，其已經廣泛應用於半導體業及超純化學工業之分析，且認為是評估ICP-MS系統效能較為精確之指標1。 在檢測時，背景雜訊會影響到偵測極限（Limit of detection, LOD），例如在吵雜的環境中，無法聽到耳語而必須要提高音量才能彼此溝通，這情形就如同高的背景雜訊造成較差的偵測極限，相反地，在一個安靜的環境中，如針落地等如此小的聲音都可以聽到，這相當於有很低的偵測極限。 有關BEC與LOD的關係必須從LOD的定義開始，依據國際純粹與應用化學聯合會（IUPAC）的定義，偵測極限為在已知之可信度內，可測得之分析物的最小濃度（CL）或質量值（qL），此種極限值是由最小可偵測之分析訊號XL求得，此最小可偵測訊號等於空白訊號之平均值Xbl加上k倍之空白訊號的標準偏差值2，亦即 XL＝Xbl + k sbl （1） 其中k值的選擇是根據所希望的信賴水準，IUPAC建議k=3，其信賴水準約98%。 在ICP-MS中，Xbl為空白分析之平均訊號（cps），典型的ICP-MS檢量線可以下式表示 XA＝Xbl + m CA （2） 其中 XA為待測物在濃度CA時之訊號（cps），m為檢量線斜率。因此，在ICP-MS中，XL亦能以下式表示 XL＝Xbl + m CL （3） 從公式（1）及（3），CL濃度可以下式計算 CL＝3 sbl/m （4） BEC可由未經背景校正之檢量線求得，示意圖如圖一所示，可依下列公式計算 BEC = Xbl / m （5） 因此，可測得之分析物的最小濃度（CL）亦可改由BEC及空白溶液之相對標準偏差百分比表示 CL＝3 RSDblank BEC/100 （6） 其中RSDblank＝100 sbl/Xbl 從上式中可以清楚瞭解 LOD 及 BEC 之關係，這兩個參數即是判斷 ICP-MS 性能非常重要之指標。會導致高BEC的原因包括隨機背景（Random background）、記憶效應、聚合離子干擾及污染，其中影響程度最大為來自酸、試劑、樣品製備所用容器及環境大氣之污染3，因非常微量的污染即會提高BEC，進而降低待測物之偵測極限。本研究即在探討如何控制污染，進而提升超微量重金屬檢測分析之精密度與準確度。 二、研究方法 （ㄧ）儀器材料 ICP-MS：Aagilent 7500ce ICP-MS（Agilent Technologies, Tokyo, Japan），霧化器為MicroMist glass concentric型式，儀器設置於Class 1000等級之無塵室中，儀器調機（表一）至中質量感度感度大於 80 million cps/ppm，CeO+/Ce+ 小於 1.5% 及Ce2+/Ce+小於 3.0%，各元素所使用質量數、ORS模式及積分時間如表二所示。 樣品瓶：使用 PFA 材質，浸泡於 10 % 硝酸溶液中（至少隔夜以上），並於使用前以試劑水加以清洗乾淨。 （二）試劑 試劑水：採用Millipore Milli-Q Element 純水製造系統。 濃硝酸：使用J.T.Baker ultra pure等級濃硝酸。 濃鹽酸：使用J.T.Baker ultra pure等級濃鹽酸。 多元素儲備標準溶液：使用Agilent 公司生產之多元素混合標準溶液。 內標準溶液10 ppm（Li, Sc,