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第三篇 光谱、能谱分析第十三章 电子能谱分析法 ◆ 俄歇电子能谱 ◆ 光电子能谱 ◆ 紫外光电子能谱 什么是电子能谱分析法？ 电子能谱分析法是采用单色光源（如X射线、紫外光）或电子束去照射样品，使样品中电子受到激发而发射出来，然后测量这些电子的产额（强度）对其能量的分布，从中获得有关信息的一类分析方法。 本章主要介绍 俄歇电子能谱法(AES) X射线光电子能谱法(XPS) 紫外光电子能谱法(UPS) §13.1 俄歇电子能谱法 俄歇电子能谱法是用具有一定能量的电子束(或X射线)激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量和强度，从而获得有关材料表面化学成分和结构的信息的方法。 一、基本原理 前面已描述了原子中的电子跃迁及其俄歇电子的发射过程。 俄歇电子的激发方式虽然有多种（如X射线、电子束等），但通常主要采用一次电子激发。 因为电子便于产生高束流，容易聚焦和偏转。俄歇电子的能量和入射电子的能量无关，只依赖于原子的能级结构和俄歇电子发射前它所处的能级位置。 1．俄歇电子产额 俄歇电子产额或俄歇跃迁几率决定俄歇谱峰强度，直接 关系到元素的定量分析。俄歇电子与特征X射线是两个 互相关联和竞争的发射过程。对同一K层空穴，退激发 过程中荧光X射线与俄歇