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第五章 光电子能谱与俄歇电子能谱 X射线光电子能谱（ X-ray Photoelectron Spectroscopy， XPS） 紫外光电子能谱（ Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy， UPS） 俄歇电子能谱： （Auger Electron Spectroscopy，AES） 主要用于分析表面化学分析、表面吸附分析、断面的成分分析。 一.电子的结合能与光电效应 光电效应：在外界光的作用下，样品中的原子吸收入射光子的能量，若入射光子的能量大于原子中某一层电子的结合能和样品的功函数，则吸收了光子的电子将离开样品表面进入真空，且具有一定的动能，此即光电效应。如图 一.电子的结合能与光电效应 光电效应的能量关系： 一.电子的结合能与光电效应 实际上，用能量分析器分析电子动能时，样品与仪器样品架相连，电接触良好且电子迁移达平衡时，两者的费米能级在同一水平，但功函数不同。存在接触电势差? ＝ ?- ?1 ，使自由电子的动能由Ec变为Ec1，则：Ec+ ? = Ec1+ ?1= hν－EB;所以 EB = hν－Ec1－ ?1 ?1一般为常数 (约4eV)，Ec1由电子能谱测得，因此，可求出样品的电子结合能EB。 EB = hν－Ec1－ ?1 不同元素的原子，其电子结合