光栅传感器机电一体化于爱兵解读.pptVIP

4.5 光栅传感器 4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术 光栅传感器的结构 反射式光栅 透射式光栅 透射式圆光栅 4.5.1 光栅传感器的结构与分类 4.5.1 光栅传感器的结构与分类 光栅副：指示光栅＋主光栅 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 莫尔条纹演示 莫尔条纹 莫尔条纹放大作用举例 径向光栅进行角度测量 4.5.4 光栅的光路 透射光路 反射光路 （1）透射式光路 （2）反射式光路 4.5.5 辨向原理 如果传感器只安装一套光电元件，则在实际应用中，无论光栅作正向移动还是反向移动，光敏元件都产生相同的正弦信号，无法分辨位移的方向。 辨向电路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术 （1）直接细分 直接细分又称位置细分，常用的细分数为4。四细分可用4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲，实现了四细分。 优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 （2）电阻电桥细分法（矢量和法） （c）电阻链细分法（电阻分割法） 光栅的外形及结构 光栅应用 电阻电桥细分法用于10细分 等电阻链细分电路 实质：用电阻衰减器来进行细分。 光栅传感器的应用 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 可移动电缆 * 传 感 器 与 检 测 技 术 光 栅 传 感 器 数控机床上用计量光栅。计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅。 尺身 尺身安装孔 扫描头 （与移动部件固定） 可移动电缆 4.5.1 光栅传感器的结构与分类 固定 1.结构 透明玻璃上刻平行等宽又等间距的条纹 a-线宽（透光）， b-缝宽(不透光) W=a+b（栅距） ，a=b=W/2 2.分类 物理光栅： 计量光栅： 利用光的衍射现象分析光谱、测定波长 利用光的莫尔条纹现象测量精密位移 反射光栅： 透射光栅： 在不透光的金属载体上刻制出等间距的条纹形成 在透明光学玻璃上均匀刻制出平行等间距的条纹形成 实际应用中，计量光栅又分为： 透射光栅的结构 在直光栅中，若a为刻线宽度，b为缝隙宽度，则ω＝a+b称为光栅的栅距(也称光栅常数)。通常a＝b，或a:b＝1.1:0.9。线纹密度一般为每毫米100、50、25和10线。光栅传感器是由光源、透镜、主光栅、指示光栅和光电接收元件组成 主光栅，是测量的基准，另一块光栅为指示光栅，在使用长光栅尺的数控机床中，标尺光栅往往固定在床身上不动，而指示光栅随拖板一起移动。标尺光栅的尺寸常由测量范围确定，指示光栅则为一小块，只要能满足测量所需的莫尔条纹数量即可。 主光栅和指示光栅之间的距离d可根据光栅的栅距来选择。主光栅和指示光栅在平行光的照射下，形成莫尔条纹。主光栅的精度决定了整个装置的精度。光电元件把光栅形成的莫尔条纹的明暗强弱变化转换为电量输出，主要有光电池和光敏晶体管。 3.光栅传感器的组成 a+b=W称为光栅的栅距（或光栅常数） 通常情况下，a=b=W/2 莫尔条纹间距 莫尔条纹宽度BH由光栅常数与光栅夹角决定 在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线保持很小的夹角θ。当有光照射时，由于挡光效应（50条/mm以下）或光的衍射作用（100/mm以上），在与光栅刻线大致垂直方向上形成明暗相间的条纹。两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形成亮带；在两光栅刻线的错开处，由于相互挡光作用而形成暗带。 BH≈W/θ （θ为主光栅和指示光栅刻线的夹角） 莫尔条纹的产生 均匀刻线 主光栅 指示光栅 夹角 明暗相间条纹 莫尔条纹 移动 条纹宽度： W ω 光栅位移 W 光强度 光栅尺的输出信号与测量电路——信号转变过程 光栅位移 输出电压 光栅位移 放大后的输出电压 光栅位移 整形后的输出电压 光栅位移 微分后的输出电压 有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角? =1.8?，则： 分辨力? =栅距W =1mm/50=0.02mm=20?m （由于栅距很小，因此无法观察光强的变化） 莫尔条纹的宽度是栅距的32倍： BH ≈W/θ = 0.02mm/（1.8? *3.14/180? ） = 0.02mm/0.0314 = 0.637mm 由于较大，因