曝光机要点技术..pptVIP

1) 曝光机的光谱 波长(nm) 光相对强度(%) 波长(nm) 光相对强度 (%) 300mmⅹ400mm 基板用lens 200mmⅹ200mm 基板用lens 2) 曝光量及照度实测值 区分 Filter 曝光量 (mJ/cm2) 照度 设定值 - 50 100 150 - 实测值 無 55.9 108.5 160.3 19.3 UV-31 50.8 97.4 144.7 17.2 UV-33 49.2 94.6 139.8 16.7 UV-35 42.4 81.3 122.1 14.3 300mmⅹ400mm 基板用LENS 区分 Filter 曝光量 (mJ/cm2) 照度 设定值 - 50 100 150 - 实测值 無 52.8 103.0 151.1 31.8 UV-31 47.9 93.3 138.3 29.0 UV-33 46.6 91.8 134.1 28.1 UV-35 40.7 79.2 117.3 24.5 200mmⅹ200mm基板用LENS 303nm j-Line 313 334nm i-Line h-Line g-Line 无filter 无filter 曝光工艺要素技术曝光对 PS的 影响 反殉膘桑唇税蚁邪靳米逃品活活盅瓷否袱高协酪俯浇旱牲髓渊肄韶猿撵藏曝光机要点技术.曝光机要点技术. 3) 波长 vs. PS 高度 未使用 曝光工艺要素技术曝