电镜操作手册（S-4100）..doc

S-4100 扫描电镜操作手册 1 名称：Scanning Electron Microscope S-4100 Operation Manual 2 目的：为操作 S-4100机台之依据 3 范围： 3.1适用机台：S-4100 Scanning Electron Microscope 3.2机台结构与外观 3.3机台位置: SEM/EDX 分析实验室 4 名词定义： SEM: Scanning Electron Microscope扫描式电子显微镜 S.C.: Specimen Chamber试片真空室 S.E.C.: Specimen Exchange Chamber试片转换室 HV: High Voltage高压 EDX: Energy Dispersive X-ray Spectrum 5负责单位： 5.1 接受各部门委托, 操作电子显微镜的工作。 5.2 操作S-4100之人员, 需经过FA负责工程师的资格鉴定, 方可操作机台。 5.3 严禁FA以外人员操作S-4100. 6 操作步骤 6.1正常操作流程图： 6.2 开机预备操作 6.2.1检查真空。在开始操作之前，必须检查机台前端控制面板，符合以下条件： 6.2.1.1 IP1，IP2及IP3灯亮。 6.2.1.2 IP(离子泵)读数必须小于以下数字： IP-1……………………………1.5E-7Pa IP-2……………………………1E-6Pa IP-3……………………………1E-5Pa S.C………………………………5E-3Pa(Pe) 6.2.1.3 “EVAC POWER”处于“ON”。 6.2.1.4 “DP/TMP”、“WATER”、“AIR PRES” 灯都亮。 6.2.1.5“S.C VACUUM HIGH”和 “S.E.C VACUUM HIGH”指示灯亮。 6.2.1.6 真空转换开关“S.C/S.E.C”置于S.E.C位置。 6.2.1.7 镜筒隔离阀“S.C AIR LOCK VALVE”置于“CLOSE”位置。 6.2.1.8 物镜光阑“OBJ APERTURE”置于“HEAT”位置。 6.2.1.9 样品锁定键“LOCK”置于“FREE”位置。 6.2.1.10 调整倍率调到最小40x。 6.2.1.11 检查此时各轴位置应为X=380mm,Y=150mm,Z=17mm,T=0°,R=0. 6.2.2 打开显示系统 6.2.2.1 将 控制面板DISPLAY开关打到 ON。 6.2.2.2 使用用户名及密码登录 WINDOWS系统。 6.3 样品准备 6.3.1 样品准备须知 6.3.1.1更换样品时必须使用清洁手套，不得直接用手接触。 6.3.1.2样品在放入样品室前必须完全干燥，不得为液体状态。 6.3.1.3导电样品，例如金属，可直接观察。但镀一层重金属 Au可以提高衬度。 6.3.1.4不导电样品，例如半导体，高分子材料等，则须镀上导电材料，推荐镀一层重金属 Au。 6.3.1.5调整样品高度：将样品用导电胶粘牢在样品台上，样品和载物台总共的高度不得高于2CM。 6.3.2 装样品操作 6.3.2.1确认两级样品室隔离阀“MV-1”在 C (close)位置，按下 AIR按钮。 6.3.2.2在样品交换室到达大气压力时，打开样品交换室。 6.3.2.3将样品杆旋入样品座台。 6.3.2.4拉出样品杆锁定，听到“咔嚓”声音，关闭样品交换室。 6.3.2.5按下EVAC开关，等待样品交换室真空度提高，至 S.E.C VACUUM的 HIGH灯亮。 6.3.2.6将两级样品室隔离阀“MV-1”逆时针方向打开至O (open) 位置；将样品杆伸入主样品室推到底部，使样品座台插入样品台对应的燕尾槽； 6.3.2.7逆时针旋转进样杆，直至完全脱离样品台，然后拉出至样品交换室(听到“咔嚓”声音)， 6.3.2.8将“MV-1”顺时针关闭至C (close)， 6.3.2.9 将开关“S.C AIR