微细加工技术要点.pptVIP

* 第2节 微细加工方法 光刻-电铸-模铸复合成形技术(LIGA)特点：能实现高深宽比的立体结构。 一种全新的三维立体微细加工技术。 * * 微细加工技术 * * 一、制造技术自身加工的极限 第1节 微细加工技术的出现 现代制造技术的两大发展趋势： 1)自动化、柔性化、集成化、智能化等方向发展--制造系统自动化； 2)极小尺度、极大尺度和极端功能。 微细加工---属于极小尺度的精密加工范畴。 * 二、微细加工出现的历史背景 1.精密机械仪器仪表零件的微细加工 2.电子设备微型化和集成化的需求 微细加工是电子设备微型化和集成化的关键技术之一。 3.集成电路的制作技术 集成电路是电子设备微型化和集成化中的重要元件。 微细加工技术的出现和发展与集成电路密切相关。 微机械的主要产品分类 微构件 （微薄膜、微轴、微孔、微梁、微探针、微连杆、微齿轮、微轴承、微弹簧 ） 微传感器（压力传感器、加速度计、位移传感器、流量计、温度传感器、微触觉传感器、微型生物传感器、微型图像传感器、微陀螺仪 ） 微执行器 （微电机、微阀、微泵、微开关、微扬声器、微谐振器 ） 专用微机械器件及系统 （人造器官、体内施药及取样微型泵、微型手术机器人 ） * 集成了17个传感器的机器蚂蚁（MIT） IROBOT公司的PACKBOT反恐机器人 微小军用机昆虫 * 一、微细加工的概念 第2节 微细加工的概念和加工方