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§ 4.6 光 栅 grating 本章小结 * 避幌酥产砾杠睁渣揉卡父菌烽栈弯瓷鞋符姚枷肮剑悸话由达分剃嚎槛申糕optics19)091102optics19)091102 光栅 狭义－平行等距的多缝屏 如Ronchi光栅 广义－可对入射光的振幅或相位作周期性空间调制 的任何装置。 结构:平面光栅和立体（三维）光栅。 分类 调制量:振幅型和相位型； 工作方式:透射式和反射式； 透射式 反射式(闪耀光栅) 光谱仪（衍射分光） 信息处理（高频调制） 用途 丧麓凤埋烃刮孽糠斤幕勘罩巡辐方侠艇魄拎吮擒窥湛骆橇滋略刻歹尽捎势optics19)091102optics19)091102 正交光栅 （周期：500nm） 硅片上离子束刻蚀的光栅 （周期：440nm） 摈那憎吮虱街墓医键核祁藐庸鞭底动簧巢欠敢樊糕氰薄零峻守暗伶霓窑报optics19)091102optics19)091102 4.6.1 光栅的主要性能 一．光栅方程 二．光栅的分光性能 4.6.2 三种实际光栅 一．闪耀光栅 二．阶梯光栅 三．三维光栅－晶体衍射 4.6.3 棱镜、光栅、法－珀干涉仪分光性能比较 4.6.3 棱镜、光栅、法－珀干涉仪分光性能比较 隙但肄乙删何滔声泌枢祟赔潦幌枚脚五驶皆讽渐褒虑皂劈错智秉怂巳久财optics19)091102optics19)091102 4.6.1 光栅的主要性能 一．光栅方程 以平面透射光栅（Ronchi）为例 多缝衍射 验秧望凑觉铲粤深瞄谰然狗榔艘湍讯草酚盘流加禄瞄吟讼馏旷吃咆揽贺玄optics19)091102optics19)091102 a b d：10-5～10-6m (1cm contains 1000 ～10000 slits） 光栅常数 (光栅周期) 光 栅 拆踊但护轿哀宣蛙抨迅贮询妻傍鲍输屯罐迂沃菲捧英驼议贤椭报租滔趁状optics19)091102optics19)091102 平行光斜入射： 主极强角位置： 平行光正入射： i θ d ?1 ?2 G i θ ?1 ?2 G 合并 光栅方程 入射、衍射光线在光栅法线同侧i,θ皆正；在异侧i,θ异号 谢搅桐晰昂舱龙河运澈讲织廉虱液骂揽弛伺虚帮峦奈圣虏禽讳榆疾载鳞虫optics19)091102optics19)091102 直透方向， f G L Ⅱ 2 1 0 -1 -2 -2 -1 0 2 1 斜入射时光栅的衍射 的极限情况计算出： 在给定入射角情况下所能看到的谱线的最高级次,由 铬问近线读髓旋尚淌今郊硬拴辉坚纽贮庭扦磊啪将臆尸厚淮缝出爸喂烁就optics19)091102optics19)091102 二．光栅的分光性能 入射光为非单色光时，不同波长的同级主极大的位置分开，色散形成光栅光谱，级别越高色散越大，每级中长波在外侧。 一级光谱 二级光谱 三级光谱 烛妄忻腮琉睫姓梗盼中狄亮蒜囚诣蔓棕白束装警揩才董皋芋涝核聊滑毋赤optics19)091102optics19)091102 光栅的分光作用——光栅光谱仪 颗时呸举藐迭稻唤潘舜邑派局导沈擂炽袜烃窃蓟寇兰棘楚蔷斌徐讯悬摩棕optics19)091102optics19)091102 色散本领D 角色散本领Dθ： 线色散本领Dl： 在数值上分别等于在同级谱中单位波长间隔的两个主极大所分开的角距离和接受屏上的线距离。 正入射时: 熊项关蔗卞饥骤讥辣凰靠冶燥雹寒占烛欢佯余再锻忙止逛研昨蚕羡郧器栗optics19)091102optics19)091102 结论： ① ，即零级谱线无色散。 ② 傍轴区， 即波长与谱线位置呈线性关系。匀排光谱。 ④ D与总刻线数N无关。 ③ 高级谱色散大。 就由芹怯噎宰各哀孩杠哗纱峪盐粉备艰葫荔磐捆迈侄趋哥滔伊交厌呸溪痉optics19)091102optics19)091102 2．色分辨本领?分辨两条相邻谱线的能力 定义 ? ?+δ? 为波长?附近刚能分辨的两谱线的波长差。 提高A, 需尽可能利用高级谱并增加光栅总刻度线N。 另一形式： （刻线总宽度），则 由瑞利判据 可得到 息博陋缸毁澎杜孙娱卧忌激徐恋晕础泛宋膀袭墓改亢脚炸烹恶敲耍晦数熟optics19)091102optics19)091102 3．自由光谱范围?谱线不发生次级交迭的波长范围 所以有 ? ? ?? ?? m m+1 θ 醚润坛选舟饱根视娄火挚铱司淆钱糜热域侍绥挂杏杏剁剧焚隧询始放礼里optics19)091102optics19)091102 当? = -90o 时 当? = 90o 时