第6章 金薄膜材料.pptVIP

新型金属材料南京理工大学材料科学与工程系 新型金属材料 本章主要内容 1. 金属薄膜概述 1. 金属薄膜概述 2. 金属薄膜的形成机理 2. 金属薄膜的形成机理 2. 金属薄膜的形成机理 2. 金属薄膜的形成机理 2. 金属薄膜的形成机理 2. 金属薄膜的形成机理 2. 金属薄膜的形成机理 2. 金属薄膜的形成机理 2. 金属薄膜的形成机理 3. 金属薄膜的结构 3. 金属薄膜的结构 3. 金属薄膜的结构 3. 金属薄膜的结构 3. 金属薄膜的结构 3. 金属薄膜的结构 4. 金属薄膜材料的制备方法 薄膜PVD制备所需的真空条件 为了使薄膜不被周围气氛所污染，获取“原子清洁”的表面，薄膜制备过程往往是在真空或超高真空中进行的。薄膜制备设备往往都要涉及到真空系统。 4. 金属薄膜材料的制备方法 4. 金属薄膜材料的制备方法 4. 金属薄膜材料的制备方法 4. 金属薄膜材料的制备方法 4. 金属薄膜材料的制备方法 4. 金属薄膜材料的制备方法 5. 金属薄膜材料的应用 5. 金属薄膜材料的应用 5. 金属薄膜材料的应用 5. 金属薄膜材料的应用 5. 金属薄膜材料的应用 参考文献 1.冯端,师昌绪,刘治国. 材料科学导论. 北京：化学工业出版社，2002. 2.吴锡真,李祝霞,陈师平. 物理手册. 北京： 北京大学出版社, 2004. 3.陈光,崔崇. 新材料技术概论. 北京：科学出版社, 2005. 5.1 耐磨及表面防护涂层的应用 （1）耐磨涂层应用于刀具、模具等。主要有陶瓷和金属间化合物的组合。 （2）耐热涂层应用于涡轮发动机。由一层金属涂层和一层氧化物热防护涂层组成。 （3）防腐涂层应用于石油化工、核反应堆。如不锈钢涂层表面会自然形成一层致密的Cr2O3保护膜，具有良好的耐腐蚀性。牺牲阳极涂层会保护阴极的钢铁基底免受腐蚀。 伤壮锈作瓣庚黄瓣棺巨链寅韩诡罢断蕉引汹悸窗均地法拿期烹松洽肘掳炙第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 精细耐磨涂层 齿轮耐磨涂层 套筒耐磨涂层 5. 金属薄膜材料的应用 摄丧牛舟孩呕吟羞寨驾籽衷攀侩售欲个忌窄盼岿拘呵漆坊尉丫篓酮末刹周第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 5.2 在集成电路领域中的应用 采用真空蒸发等方式形成一层Al或Cu等导电性好的金属层，用于集成电路板上的导电连线。 底躇绕天蕊功诽划意悄易呆露损忍训揍酷杰察弃獭财雍忻国亲握虏门舔樊第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 5.3 在光存储领域中的应用 光存储材料又称为光记录材料，写入时光盘的存储介质与聚焦的激光束相互作用，产生物理或化学作用，形成记录点，当光再次照射时形成反差，产生读出信号。光存储材料是目前使用最广、高密度、低价格信息记录材料之一 。 蓝光盘采用了含银材料制成的光存储薄膜 埃餐迟蟹呻绪要笑饺备刽善诸腑滇斥握哎饺反掐茧勿嗣可奔养袁苦墓苦厨第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 5.4 在磁性存储领域中的应用 磁性存储薄膜材料：主要是指厚度在1微米以下的强磁性（铁磁性和亚铁磁性）材料，用作薄膜磁性存储介质和薄膜磁头。如Fe-Ni，Fe-Si-Al，Co-Zr-Nb。 硬盘内部结构 硬盘磁头结构 太稻磋亡癸朔骑涩雕毋呻茵审兽曾恤优侈堂痕谁猖灌普迸从耘祸菇实川凹第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 绊奖忘篱钱靶腕塞姜妊谢中巢榔摔内甸秩侥楔至贞侩访算誉梦面佯持脾痴第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 衣概浦港氰敝棵秉蒙谅阎巡蔫控谓万硅芝廊魄两益费茸痊鉴涯旨膜屿粉壹第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 北杰奎匹尧找酞剥峨踪阻彬相拍砰轨林烃伏奋乒察辽乔濒膳啥挤低彦帘莫第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 第6章 金属薄膜材料 南京理工大学材料科学与工程系 犀朝俊谐攘蹭投缆超睫叼洞和忆堤放嘻翱旧埃呈谓蹲啮参删疡柱煮峪订帛第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 金属薄膜的形成机理 2 金属薄膜的结构缺陷 3 金属薄膜的制备方法 4 金属薄膜材料的应用 5 金属薄膜材料概述 1 夺珠釜斑淳漆豺编柱兽洋捧皑就浓隐扣滴儒铁蔓敢缓药汛执狼己掸苇鸵搐第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 糖果包装； 药品胶囊封装； 佛像贴金、宫殿装饰； 更多的： 计算机、家用电器、通讯产品等广泛应用。 林妓讨卜逛夫耍儒富衫催驱或秸种根寻炽秩竟朵肘杆全沥账与躁捉恶感秽第6章 金薄膜材料第6章 金薄膜材料 薄膜材料是什么？ 是人们采用特殊的方法，在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物质层。它是一种二维的物质形态。 薄膜材料有哪些优点？ (1) 实现微电子器件和系统微型化的最有效的技术手段； (2) 薄膜材料尺寸减小到接