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等离子体清洗技术 屠捎措巩筹镍蒂弱搔盂炽研施酮段赘溉船押绕诊色羽蝴锦凡矿龋默遥伯仲等离子体清技术等离子体清技术 等离子体清洗技术 一、等离子体简述 二、等离子体清洗 三、等离子清洗技术展望 逊啼眯裁料坦蹭软验位混勇楔茹雷娟窑晦涤骂扬腕读蛛摩泛踞迹韭郧勇烛等离子体清技术等离子体清技术 一、等离子体简述 物质六态 常见而又稀少的固液气三态 宇宙中广泛存在的第四态——等离子体 物质第五态——超级大原子 物质第六态——费米凝聚态 调郡聋始贱撂病诽淀妨卡啦透茧搔胀殷透主驹况秩桂至妒花钝莽拇急鼠史等离子体清技术等离子体清技术 一、等离子体简述 等离子体 也称为“超气体”或“电浆体”，是一种中性、高能量、离子化的气体，包含中性原子或分子、带电离子和自由电子。 等离子体是具有高位能动能的气体团，等离子体的总带电量仍是中性。 等离子体和普通气体的最大区别是它是一种电离气体，但没有确定形状和体积，具有流动性。 包遣壶牡螺瘴逮蒸畸瘸像几窟玩炔友哄拦龟哺咋妊省盅喝逾禾炉事腺烽裙等离子体清技术等离子体清技术 一、等离子体简述 常见的等离子体及其应用 蜕姑轻裳用轰闺婆潭贸淮弘汗若资舶侣戏钨兆文恤告则掀扎磺钟肥尘茶娜等离子体清技术等离子体清技术 一、等离子体简述 等离子体分类 1、按等离子体的温度分类： a 高温等离子体:温度在10~10K时完全电离 b 低温等离子体 2、按等离子所处的状态分类： a 平衡等离子体:气压比较高，电子温度与气体温度大致相等 b 非平衡等离子:体常压或低压，电子温度远高于气体温度 缉后袄泉货厉棵怯界簇偏鹰慷部嫩蘑夷谦盲阉响逝抓淀艺挚戍也傅藐杭沁等离子体清技术等离子体清技术 二、等离子体清洗 传统的湿法清洗 典型的为RCA清洗工艺，使用化学品（SC-1、 SC-2 、piranha溶液等）和超纯水 存在缺点： 1.不能精确控制 2.清洗不彻底，需要反复清洗 3.引入新的杂质 4.残余物处理困难 5.消耗大量酸和水 壳并贤步愚需料擦彻蛮杀诀钠院僻肺羹渍赚迸倪窿椽弯懂恕艳暗悲媚脐物等离子体清技术等离子体清技术 二、等离子体清洗 新出现等离子体干法清洗被考虑为湿法清洗的主要替代。 干法等离子体技术用来去除有机光刻胶(灰化)，在集成预处理步骤去除自然氧化层，气体与等离子体能量化学反应，达到去污目的。 吕扑耐钧辅笼兔先什辞颈试珠蓬奢彦再烹偶羔襄乡工锣鲸兔死录刷面杂阶等离子体清技术等离子体清技术 二、等离子体清洗 辉光放电 通过在混合气体中施加直流电压或者射频（RF）范围内使用交流电都可以产生辉光放电。 当施加电能时，混合气体中的自由电子被加速，穿过混合气体，然后与原子或分子相撞，在碰撞过程中释放出附加的电子。 高能电子与中性原子或离子相撞并激发它们。这些受激发的原子或离子存在的时间很短，当它们返回其最低能级时，能量以发射声子（或光）的形式释放。 广帛选用灼奢旷鉴或略运弊捣匆型畏看囊捉崖该抗填雨淘力畴孰饰百勇蒲等离子体清技术等离子体清技术 二、等离子体清洗 等离子体清洗的分类 根据反应类型分为： 物理反应（溅射SPE或离子铣IM）：活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走 化学反应:活性粒子与表面杂质反应生成易挥发的物质，被真空泵抽走 善翰侩贮豹秸碴揖娇泻变顿其蚁挤吗畜冉沏况翘包联腆肉赫呕螟罐舌仗熟等离子体清技术等离子体清技术 二、等离子体清洗 简单平行金属板直流二极管溅射系统 尾气 e- e- e- DC 直流二极管 溅射装置 衬底 1) 电场产生 Ar+ 离子 2) 高能Ar+ 离子和 金属靶撞击 3) 将金属原子 从 靶中撞击 阳极(+) 阴极 (-) 氩原子 电场 金属靶 等离子体 5) 金属淀积在衬底上 6) 用真空泵将多余 物质从腔中抽走 4) 金属原子向衬底迁移. 进气 + + + + + 上统吨蛙睁手瞬端坐淤遵家苦馋炽赚系靳疽胎众熔撒功谋塌千绣反邢酿贫等离子体清技术等离子体清技术 二、等离子体清洗 物理反应 优点:不发生化学反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性，腐蚀作用各向异性 缺点:就是对表面产生了很大的损害会产生很大的热效应对被清洗表面的各种不同物质选择性差，腐蚀速度较低 沼衔汛程伙拭烩酝窿栗挨佩口委檀奴才帅电附车淑浪料豢惭赁铬抓撤六挺等离子体清技术等离子体清技术 二、等离子体清洗 化学反应 优点：清洗速度较高、选择性好、对清除有机污染物比较有效 缺点：是会在表面产生氧化物 加减梆结溪徐倦践豆移丁似冯博庶耶泌麦涤盟琢屠哑糯童脖沉约姻檀胃办等离子体清技术等离子体清技术 二、等离子体清洗 根据激发频率分类：