第1章+薄制备的真空技术基础.pptVIP

层流状态： 在低流速的情况下，黏滞流处于层流状态，即在与气体流动方向垂直的方向上，可以设想存在不同气体流动层的明确的层状流线，且各层气体的流动方向总能保持相互平行。 紊流状态： 气体流速较高的情况下，各层气体的流动方向之间将不再能够保持相互平行的状态，而呈现出一种旋涡状的流动形式。这种流动状态被称之为紊流状态。 黏滞流状态分类 争如胸留敬扒吱炼摄埂璃傻潘疽牧洼濒刹嚷券衙赣霉衫彻歧淮域计嘎铬竣第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 雷诺准数Re是帮助判断气体流动状态的另一个无量纲参数，其定义为 d为容器的特征尺寸； 分别是 气体的流速、密度和动力学黏度系数。 紊流状态 紊流或层流 层流状态 履鲸路群穿定药秃肖粮锡撅拌拥捣狰撞勃哉玉杉沙膘暗竖挪卢瓜耙测九雕第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 注意: 同一真空系统中的不同部分,完全可能同时存在不同的气体流动状态。例如在高真空室和其附属的气体输送管路中， Kn值和Re值以及相应气体的流动状态就可能完全不同。 陡侈拜靖吨韧桨写瓦瞥绥埋种衬贸霉峨标堂发墙滨拈恶舔这轩肚戏淌讫嘻第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 二、气体管路的流导 流量：单位时间间隔内通过某一截面的气体量，其数值为单位时间内流过的气体体积与其压力的乘积，即 Q=PV 其中p1和p2为管路两端的气压 管道中的气流 Q P2 P1 流导： 沉加担哪略扰陶讲蓝售轨炼溶资淑仑脓邪论题局负介硕友崩江毯冤孕堡啼第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 （1-11） 比例常数C称为流导。式(1-11)即是流导的定义式。 流导定义式表明：在单位压力差下，流经管路元件气流量的大小被称为流导。它是衡量真空管路中气体的通过能力的。 单位：在国际单位制中，气流量Q的单位是Pa·m3／s，P1-P2的单位是Pa，所以流导的单位是m3／s。 储逸捅碗柠亨前责砧飘太呵驹好说士倚毒豫娩戏衙鹰随法坪轮褒褪怀月臣第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 说明： 流导的大小说明在管路元件两端的压强差P1-P2一定的条件下流经管路元件的气流量的多少。所以作为真空系统管路元件，都希望它的流导值尽可能大一些，使气流能顺利地通过。因此，流导是真空系统管路元件的一个重要参数。 圾效柏贼厚就货啪蜒粉逝一谋仆谓惺涤铲管拓哆摆敢甜渣狡锻肾惨祁笆蝶第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 并联流导 串联流导 流导的影响因素： 分子流情况：管路几何尺寸、气体的种类和温度 黏滞流情况：管路几何尺寸、气体的种类和温度、 气体的压力 当不同的流导C1、C2、C3之间相互串联或并联时，形成的总流导C可以用下式求出： 流导串并联情况： 谗兼沿车呜慢扛颤落脐制横园毅谗其钮平耕袄迎勺宗捻仑揪恿稗奢燕棠娥第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 三、真空泵的抽速 真空泵的一个基本指标是抽速S，定义为： 其中p为真空泵入口处的气压，Q仍为单位时间内通过该处的气体流量。 量纲：m3／s 流导：描述的是真空部件的气体通过能力，它将使流动着的气体形成一定程度的压力降低； 抽速：特指一个截面上的气体流速。 扮吕髓涡硕宇吾斯丧雇乒巡滨收盗妊祖品凡粹叙绒卤欲种边滇昏怨浑创柯第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 根据气体连续流原理，容器出口流量和泵入口处流量与导管任意截面上流量相等，即 Q=PS=PpSp=C(P-Pp) 真空室 Q P, S Pp, Sp 真空泵 流导C 饶妖凳蔡赵叔杀万扳钦贱炯撵鉴涌勤鹿抱锦岩弥拓痹存派锨软边罢每串瀑第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 泵对容器的实际抽速S不仅永远小于泵的理论抽速Sp（SSP）,而且也永远小于管路的流导C(SC)。即S是受Sp和C之中较小的一个所限制的。 真空系统设计基本原则：确保管路流导C大于 泵的理论抽速Sp 。 —真空室出口处实际抽速 芝耗缔奴咬叉戈胡俗刻疟宗该查佬缆碍升诲润舆朴徒露挥捎瞳查糙堕氰肆第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技术基础 真空泵的另一个技术指标是它能够提供的极限真空度. 对于一个真空系统来说，其能够达到的极限真空度不仅取决于真空泵，还取决于正真空系统，包括系统的气体泄漏程度，系统的容积，以及管路的流导. 抒通祷竖孜乞人憎灶敏因若豺者穷画壮婴颇础裔品懦蒂潭诣喉秒仇肮浸慨第1章+薄制备的真空技术基础第1章+薄制备的真空技