无尘室等级区分[精选].docVIP

无尘布的适用范围很广,只有洁净要求比较高的,都会用到,比如,LCD组装,或是一些表面清洁等 无尘室根据洁净程度不同分很多等级 目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多 数字越小,洁净等级越高 1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗 100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗 注意了,每个等级所管控的颗粒大小也不一样 依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。无尘室等级，无尘室标准，无尘室标准定义一、无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo（BCR）。二、联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格（美国航空署5340.2规格）。其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3空气中，含有多少个0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如：空气中含有10个0.5以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000微粒子。三、在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级1、2???8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。21世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。 无尘车间标准，洁净室标准??一、无尘车间(Clean Room)，亦称为洁净室或无尘室。 ??「无尘车间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「无尘车间」。 二、无尘车间标准-等级 美国联邦标准（ USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3洁净度级别? ?? ???粒 径 (um)? ?? ???0.1? ?? ???0.2? ?? ???0.3? ?? ???0.5? ?? ???5.01? ?? ???35? ?? ???7.5? ?? ???3? ?? ???1? ?? ???NA10? ?? ???350? ?? ???75? ?? ???30? ?? ???10? ?? ???NA100? ?? ???NA? ?? ???750? ?? ???300? ?? ???100? ?? ???NA1000? ?? ???NA? ?? ???NA