mems宏模型综述.docVIP

第二章 系统级模拟的MEMS器件宏模型 如前所述，微机电系统(MEMS)通常是将信息获取、信息处理及执行机构等若干子系统集成在一起的系统。集成的结果大大提高了系统的性能、效率和可靠性。但系统复杂程度的提高给系统级模拟带来了很大的困难，为使如此复杂的系统能在较短时间内设计出来并实现优化，不能再使用适宜于单个器件的那种有限元法，因为有限元法计算量大，计算所需时间太长，而必须要使用高性能的系统模拟方法，以使设计者在几个小时内就能完成“What－if”实验，从而缩短设计周期、降低设计成本[1, 2]。 现阶段的MEMS器件系统级模拟基本上都是采用已有的、成熟的电路分析软件如Spice、Saber、Simulink等进行的，但利用这些现有工具进行系统级模拟的前提是要有MEMS器件的宏模型。所谓宏模型，就是避开了器件的具体结构，只描述了其外部特性，也就是激励与响应之间的关系的模型。宏模型既要能进行快速、精确的模拟，又要能同这些现有的软件实现无缝连接。从形式上看，宏模型通常有等效电路模型和硬件描述语言模型两种形式。 2.1 有限元分析 MEMS器件通常涉及多个能量领域，如电能、机械能、热能、磁能等，每个能量域都有各自不同的物理规律，这些物理规律通常由一定的解析式（往往是偏微分方程）来表示。一般说来，在这些不同的能量域里，都已经有现成的求解器，为了求解MEMS器件在某种激励下