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电子陶瓷与器件 姓名：范士杰 学号：20081003597 班号：033082-29 指导老师：公衍生 NO2 气体传感器敏感材料 ( NO2 gas sensor sensitive materials ) 摘　要: 主要介绍了用作NO2传感器的一些氧化物半导体气敏材料，具体有二氧化锡纳米棒. WO3 气敏元件和最新研究的纳米CuO敏感材料。大致描述了相应气敏元件或者传感器的制作实验以及对这些元件进行集体的气敏性能测试，进行参比实验和数据分析。说明了氧化物半导体用作NO2气体传感器的优异性能。另外，对于氧化物气敏材料对NO2气体敏感机理进行了简单分析。 Introduces some of the sensor for NO2 oxide semiconductor gas sensitive material, specifically SnO stick. WO3 gas sensor and the latest research of Nano-CuO-sensitive materials. General description of the corresponding production of gas sensors or sensor components of these experiments and the collective performance of the test gas, the reference experiments and data analysis. Shows the oxide semiconductor gas sensor for NO2 excellent performance. In addition, oxide gas-sensing material for NO2 gas sensitivity of the mechanism of a simple analysis. 关键词: NO2 ; 气体传感器; 敏感材料; 纳米氧化物；气敏性能 前　言 二氧化氮(NO2 ) 气体是一种强毒性气体,主要来源于汽车和炼油厂燃烧产生的废气,是引起酸雨、光化学烟雾以及腐蚀等环境问题的工业污染物之一,而且它对人体呼吸道有强烈的刺激作用,严重时造成肺损害甚至肺水肿。随着工业的高速发展,对NO2 的监测越来越受到人们的关注,NO2 气体传感器的研究也一直是国内外的一个热点,为了提高传感器的敏感特性,人们从材料的选择和改性等方面做了努力。NO2 气体传感器所用的材料一般为有机半导体材料和氧化物半导体材料。NO2 气体传感器所用的材料目前最热门的就是氧化物半导体材料。氧化物半导体材料研究的较多的是WO3 和SnO2 。 SnO2气敏材料 SnO2 是一种表面控制型气敏材料,SnO2 的传感性能对其粒径和比表面积的大小有很强的依赖性，其比表面越大，越有利于气体吸附与表面反应，越容易获得灵敏度高、选择性好的气敏元件。由于纳米晶材料具有粒度小，比表面积大、相对气体阻抗变化大等优点，因而可以满足气体传感器灵敏度高、使用温度低、检测范围宽的要求。SnO2 气敏材料的纳米化成为提高SnO2 气体灵敏度的主要途径。研究表明，相对于传统SnO2材料，SnO2 纳米颗粒、SnO2 纳米介孔、SnO2 纳米带等各种纳米结构SnO2 材料的气体敏性具有灵敏度高、选择性和稳定性好等特性。 利用室温固相反应合成SnO2 纳米颗粒前驱体，再在熔盐介质中焙烧制备了SnO2 纳米棒一维纳米结构材料。SnO2 纳米棒直径为10~20 nm，长度从纳米级到微米级。以SnO2纳米棒材料为原料制备得到厚膜气敏元件。 WO3 气敏材料 将采用热分解法制备的WO3 粉末与溶胶- 凝胶法制备的SiO2 粉末按ω( SiO2 )不同的比例固相掺杂,分别研磨40 min 左右,放入马弗炉内600 ℃下煅烧5 h ,自然冷却后即得到固相法制备的不同掺杂质量分数的WO3 气敏材料。 　材料的气敏特性测试 气敏元件按传统方式制成烧结型旁热式结构,烧结条件为600 ℃,1 h ,老化条件为32℃,240 h 。气敏元件的测试采用静态配气法,在HWC230A 气敏元件测试系统上完成,该系统采用电流电压测试法,元件的加热电压可在较大范围内调节,负载电阻器为可换插卡式。 本实验测试了在工作电压为3. 5 V 时各元件对不同NO2 体积分数气体的灵敏度； 　从图中可以看出,随着NO2 体积分数的增加, 各元件的灵敏度呈增长趋势,其中ω(SiO2) = 3 %时元件的灵敏度最高,随NO2 体积分数的变化呈良好的线性,检测范围较宽。上述测量均是在工作温度为120 ℃时测得的,实际上工作温度的